Epitaksijalni Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaksijalni Epi Graphite Barrel Susceptorje posebno dizajniran uređaj za podršku i grijanje koji se koristi za držanje i zagrijavanje poluvodičkih supstrata tijekom proizvodnih procesa poput procesa taloženja ili epitaksije.
Njegova struktura uključuje tipično cilindrični ili blago bačvasti oblik, površina ima višestruke džepove ili platforme za postavljanje vafla, može biti pun ili šuplji dizajn, ovisno o načinu zagrijavanja.
Glavne funkcije epitaksijalnog bačvastog suceptora:
-Podrška za supstrat: sigurno drži više poluvodičkih pločica;
-Izvor topline: grijanjem osigurava visoke temperature potrebne za rast;
-Ujednačenost temperature: osigurava ravnomjerno zagrijavanje podloga;
-Rotacija: obično se okreće tijekom rasta kako bi se poboljšala ujednačenost temperature i distribucije plina.
Princip rada Epi grafitnog bačvastog suceptora:
- U epitaksijalnom reaktoru, bačvasti susceptor se zagrijava na potrebnu temperaturu (obično 1000 ℃-1200 ℃ za silikonsku epitaksiju);
-Sceptor bačve rotira kako bi se osigurala jednolika raspodjela temperature i protok plina;
-Reakcijski plinovi se raspadaju na visokim temperaturama, stvarajući epitaksijalne slojeve na površini supstrata.
Prijave:
-Primarno se koristi za epitaksijalni rast silicija
-Također primjenjivo za epitaksiju drugih poluvodičkih materijala kao što su GaAs, InP, itd.
VET Energy koristi grafit visoke čistoće s CVD-SiC premazom za povećanje kemijske stabilnosti:
Prednosti VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptora:
-Visoka temperaturna stabilnost;
-Dobra toplinska ujednačenost;
-Može obrađivati više supstrata istovremeno, poboljšavajući učinkovitost proizvodnje;
-Kemijski inertan, održava okruženje za rast visoke čistoće.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije uključujući grafit, silicijev karbid, keramiku, površinsku obradu kao što je SiC premaz, TaC premaz, staklasti ugljik premazivanje, pirolitičko ugljično premazivanje itd., ovi se proizvodi naširoko koriste u fotonaponskoj industriji, poluvodiču, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i razvio je višestruke patentirane tehnologije kako bi osigurao izvedbu i kvalitetu proizvoda, a kupcima također može pružiti profesionalna materijalna rješenja.
Srdačno vas pozdravljamo da posjetite naš laboratorij i pogon za tehničke razgovore i suradnju!
