Galijev arsenid-fosfid epitaksijalne strukture, slične proizvedenim strukturama supstrata tipa ASP (ET0.032.512TU), za. proizvodnja ravnih crvenih LED kristala.
Osnovni tehnički parametar
na galijev arsenid-fosfidne strukture
1, supstrat GaAs | |
a. Vrsta vodljivosti | elektronski |
b. Otpor, ohm-cm | 0,008 |
c. Orijentacija kristalne rešetke | (100) |
d. Površinska pogrešna orijentacija | (1−3)° |
2. Epitaksijalni sloj GaAs1-h Ph | |
a. Vrsta vodljivosti | elektronski |
b. Sadržaj fosfora u prijelaznom sloju | od h = 0 do h ≈ 0,4 |
c. Sadržaj fosfora u sloju stalnog sastava | h ≈ 0,4 |
d. Koncentracija nosača, cm3 | (0,2−3,0)·1017 |
e. Valna duljina pri maksimumu fotoluminiscencijskog spektra, nm | 645−673 nm |
f. Valna duljina na maksimumu spektra elektroluminiscencije | 650−675 nm |
g. Konstantna debljina sloja, mikron | Najmanje 8 nm |
h. Debljina sloja (ukupna), mikron | Najmanje 30 nm |
3 Ploča s epitaksijalnim slojem | |
a. Otklon, mikron | Najviše 100 um |
b. Debljina, mikron | 360−600 um |
c. Kvadratni centimetar | Najmanje 6 cm2 |
d. Specifična jakost svjetlosti (nakon difuzijeZn), cd/amp | Najmanje 0,05 cd/amp |