Vim li cas peb thiaj siv UV daim kab xev rau wafer dicing? | VET Zog

Tom qab lubwafertau dhau los ntawm cov txheej txheem dhau los, kev npaj chip tiav, thiab nws yuav tsum tau txiav kom cais cov chips ntawm wafer, thiab thaum kawg ntim. Covwafertxiav txheej txheem xaiv rau wafers ntawm txawv thicknesses kuj txawv:

▪Wafersnrog lub thickness ntawm ntau tshaj 100um feem ntau txiav nrog cov hniav;

▪Wafersnrog lub thickness tsawg dua 100um feem ntau txiav nrog lasers. Laser txiav tuaj yeem txo cov teeb meem ntawm tev thiab tawg, tab sis thaum nws siab tshaj 100um, qhov kev ua tau zoo yuav raug txo kom tsawg;

▪Wafersnrog ib tug tuab ntawm tsawg tshaj li 30um yog txiav nrog plasma. Plasma txiav yog ceev thiab yuav tsis ua puas rau saum npoo ntawm lub wafer, yog li txhim kho cov txiaj ntsig, tab sis nws cov txheej txheem nyuaj dua;

Thaum lub sij hawm wafer txiav txheej txheem, ib zaj duab xis yuav raug siv rau lub wafer ua ntej kom muaj kev ruaj ntseg "singling". Nws lub luag haujlwm tseem ceeb yog raws li hauv qab no.

Kho thiab tiv thaiv lub wafer

Thaum lub sijhawm ua haujlwm dicing, lub wafer yuav tsum tau txiav kom raug.Wafersfeem ntau yog nyias thiab nkig. UV daim kab xev tuaj yeem tuav lub wafer mus rau lub thav duab los yog lub wafer theem kom tiv thaiv lub wafer los ntawm kev hloov thiab co thaum lub sij hawm txiav, kom ntseeg tau qhov tseeb thiab qhov tseeb ntawm kev txiav.
Nws tuaj yeem muab kev tiv thaiv lub cev zoo rau lub wafer, zam kev puas tsuaj rauwafertshwm sim los ntawm kev quab yuam sab nraud thiab kev sib txhuam uas yuav tshwm sim thaum lub sij hawm txiav, xws li cov kab nrib pleb, ntug vau thiab lwm yam tsis xws luag, thiab tiv thaiv cov qauv nti thiab Circuit Court ntawm qhov chaw ntawm lub wafer.

Yooj yim txiav kev ua haujlwm

UV daim kab xev muaj qhov tsim nyog elasticity thiab saj zawg zog, thiab tuaj yeem deform me ntsis thaum txiav cov hniav txiav, ua rau cov txheej txheem txiav smoother, txo qhov tsis zoo ntawm kev txiav tsis kam ntawm cov hniav thiab wafer, thiab pab txhim kho kev txiav zoo thiab kev pab cuam lub neej. cov hniav. Nws cov yam ntxwv saum npoo ua rau cov khib nyiab tsim los ntawm kev txiav kom ua raws li daim kab xev zoo dua yam tsis muaj txaws ncig, uas yooj yim rau kev ntxuav tom qab ntawm qhov txiav, ua kom qhov chaw ua haujlwm huv si, thiab zam cov khib nyiab los ntawm kev sib kis lossis cuam tshuam nrog wafer thiab lwm yam khoom siv. .

Yooj yim rau tom qab

Tom qab lub wafer raug txiav, UV daim kab xev tuaj yeem txo qis hauv viscosity lossis txawm tias ploj tag nrho los ntawm irradiating nws nrog ultraviolet lub teeb ntawm ib lub wavelength tshwj xeeb thiab kev siv, yog li ntawd cov chips txiav tau yooj yim sib cais los ntawm daim kab xev, uas yog yooj yim rau tom ntej. nti ntim, kuaj thiab lwm yam txheej txheem ntws, thiab cov txheej txheem kev sib cais no muaj kev pheej hmoo tsawg heev ntawm kev puas tsuaj rau cov nti.