Dab tsi yog qhov txawv ntawm PECVD thiab LPCVD hauv cov khoom siv semiconductor CVD?

Tshuaj vapor deposition (CVD) yog hais txog cov txheej txheem ntawm kev tso cov zaj duab xis rau ntawm qhov chaw ntawm siliconwaferlos ntawm cov tshuaj tiv thaiv ntawm cov roj sib tov. Raws li qhov sib txawv ntawm cov tshuaj tiv thaiv (siab, precursor), nws tuaj yeem muab faib ua ntau hom khoom siv.

Cov txheej txheem twg yog ob qho khoom siv no siv rau?

PECVD(Plasma Enhanced) cov cuab yeej siv ntau tshaj plaws thiab feem ntau siv, siv hauv OX, Nitride, hlau rooj vag, amorphous carbon, thiab lwm yam.; LPCVD (Low Power) feem ntau yog siv hauv Nitride, poly, TEOS.
Lub hauv paus ntsiab lus yog dab tsi?
PECVD-tus txheej txheem uas zoo kawg nkaus ua ke plasma zog thiab CVD. PECVD thev naus laus zis siv cov plasma kub qis los ua kom lub ntsej muag ci ntawm lub cathode ntawm cov txheej txheem chamber (piv txwv li, cov tais diav) nyob rau hauv qis qis. Qhov hluav taws xob tso tawm no lossis lwm yam khoom siv cua sov tuaj yeem nce qhov ntsuas kub ntawm cov qauv mus rau qib uas tau txiav txim siab, thiab tom qab ntawd qhia txog kev tswj hwm cov txheej txheem roj. Cov roj no dhau los ua cov tshuaj lom neeg thiab cov ntshav plasma, thiab thaum kawg tsim cov yeeb yaj kiab ntawm cov qauv.

LPCVD - Tsawg-siab tshuaj vapor deposition (LPCVD) yog tsim los txo cov kev khiav hauj lwm siab ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj nyob rau hauv lub reactor mus txog 133Pa los yog tsawg dua.

Cov yam ntxwv ntawm txhua tus yog dab tsi?

PECVD - Ib txheej txheem uas ua ke zoo kawg nkaus ua ke ntawm plasma zog thiab CVD: 1) Kev ua haujlwm kub qis (tsis txhob kub siab rau cov khoom siv); 2) Kev loj hlob sai ntawm zaj duab xis; 3) Tsis txhob xaiv cov ntaub ntawv, OX, Nitride, hlau rooj vag, amorphous carbon tuaj yeem loj hlob tuaj; 4) Nws muaj lub hauv paus saib xyuas, uas tuaj yeem kho daim ntawv qhia los ntawm ion tsis, roj ntws tus nqi, kub thiab zaj duab xis thickness.
LPCVD - Nyias cov yeeb yaj kiab tso los ntawm LPCVD yuav muaj cov kauj ruam zoo dua, muaj kev sib xyaw zoo thiab cov qauv tswj, kev tso nyiaj siab thiab tso tawm. Tsis tas li ntawd, LPCVD tsis xav tau cov pa roj carbon monoxide, yog li nws txo qis qhov chaw ntawm cov pa phem thiab tau siv dav hauv kev lag luam uas muaj nqi ntxiv rau cov khoom siv hluav taws xob rau cov yeeb yaj kiab nyias.

 

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