Ib lub cub hluav taws xob ib leeg yog ib qho khoom siv uas siv agraphite rhaubkom yaj polycrystalline silicon cov ntaub ntawv nyob rau hauv ib qho inert gas (argon) ib puag ncig thiab siv Czochralski txoj kev loj hlob tsis-dislocated ib leeg muaju. Nws yog tsim los ntawm cov hauv qab no systems:
Mechanical kis tau tus mob
Cov neeg kho tshuab kis tau tus mob yog lub hauv paus kev khiav hauj lwm ntawm ib tug siv lead ua rauv, uas yog lub luag hauj lwm rau kev tswj lub zog ntawm cov muaju thiabcrucibles, nrog rau kev nqa thiab kev sib hloov ntawm cov noob muaju thiab kev nqa thiab kev sib hloov ntawmcrucibles. Nws tuaj yeem kho qhov tsis zoo xws li txoj haujlwm, nrawm thiab tig lub kaum sab xis ntawm cov khoom siv lead ua thiab cov crucibles kom ntseeg tau tias qhov kev vam meej ntawm cov txheej txheem siv lead ua. Piv txwv li, nyob rau hauv ntau theem kev loj hlob xws li noob, caj dab, xub pwg, sib npaug txoj kab uas hla txoj kev loj hlob thiab tailing, lub zog ntawm cov noob muaju thiab crucibles yuav tsum tau tswj kom raug los ntawm cov txheej txheem no kom tau raws li cov txheej txheem ntawm kev loj hlob siv lead ua.
Cua kub tswj qhov system
Qhov no yog ib qho ntawm cov txheej txheem tseem ceeb ntawm lub cub hluav taws xob ib leeg, uas yog siv los ua kom muaj cua sov thiab tswj tau qhov kub thiab txias hauv qhov cub. Nws yog tsim los ntawm cov khoom xws li cov cua sov, ntsuas kub, thiab cov tswj kub. Lub rhaub feem ntau yog ua los ntawm cov ntaub ntawv xws li high-purity graphite. Tom qab qhov kev hloov pauv tam sim no tau hloov pauv thiab txo kom nce qhov tam sim no, lub rhaub hluav taws xob tsim cov cua sov kom yaj cov ntaub ntawv polycrystalline xws li polysilicon hauv lub crucible. Lub ntsuas kub ntsuas ntsuas ntsuas qhov ntsuas kub ntawm qhov cub hauv lub sijhawm tiag tiag thiab xa cov teeb liab kub mus rau qhov ntsuas kub. Lub ntsuas kub tswj tau raug tswj xyuas lub zog cua sov raws li qhov ntsuas qhov ntsuas kub thiab qhov ntsuas kub ntawm cov lus taw qhia, yog li tswj kev ruaj ntseg ntawm qhov kub thiab txias hauv qhov cub thiab muab qhov kub thiab txias ib puag ncig rau kev loj hlob siv lead ua.
Lub tshuab nqus tsev
Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev yog tsim thiab tswj lub tshuab nqus tsev nyob hauv qhov cub thaum lub sij hawm siv lead ua kev loj hlob. Cov pa cua thiab impurity gases nyob rau hauv lub cub tawg yog muab rho tawm los ntawm lub tshuab nqus tsev twj thiab lwm yam khoom siv los ua kom cov pa roj nyob rau hauv lub cub tawg mus txog ib tug tsawg kawg nkaus theem, feem ntau qis dua 5TOR (torr). Qhov no tuaj yeem tiv thaiv cov khoom siv silicon los ntawm kev oxidized ntawm qhov kub thiab txias thiab ua kom lub purity thiab zoo ntawm crystal kev loj hlob. Nyob rau tib lub sijhawm, lub tshuab nqus tsev ib puag ncig kuj yog qhov tsim nyog rau kev tshem tawm cov impurities tsis hloov pauv thaum lub sij hawm siv lead ua kev loj hlob thiab txhim kho qhov zoo ntawm cov siv lead ua.
Argon qhov system
Lub kaw lus argon plays lub luag haujlwm hauv kev tiv thaiv thiab tswj lub siab nyob rau hauv lub cub tawg nyob rau hauv ib lub qhov cub siv lead ua. Tom qab nqus tsev vacuuming, high-purity argon roj (purity yuav tsum siab tshaj 6 9) yog sau rau hauv lub cub tawg. Ntawm ib sab, nws tuaj yeem tiv thaiv huab cua sab nraud los ntawm kev nkag mus rau hauv lub cub tawg thiab tiv thaiv cov ntaub ntawv silicon los ntawm kev oxidized; Ntawm qhov tod tes, qhov ntim ntawm argon roj tuaj yeem tswj lub siab nyob rau hauv lub qhov cub kom ruaj khov thiab muab lub zog tsim nyog rau kev loj hlob siv lead ua. Tsis tas li ntawd, cov dej ntws ntawm argon kuj tseem tuaj yeem tshem tawm cov cua sov uas tsim los ntawm cov txheej txheem siv lead ua, ua si lub luag haujlwm txias.
Dej txias system
Kev ua haujlwm ntawm cov dej txias txias yog ua kom txias rau ntau qhov kub ntawm cov khoom siv hluav taws xob ib leeg kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm zoo thiab kev pabcuam lub neej ntawm cov khoom siv. Thaum lub sij hawm ua hauj lwm ntawm ib tug siv lead ua rauv, lub rhaub,crucible, electrode thiab lwm yam khoom yuav ua kom muaj cua sov ntau. Yog tias lawv tsis txias rau lub sijhawm, cov khoom siv yuav overheat, deform lossis puas. Lub tshuab cua txias yuav tshem tawm cov cua sov ntawm cov khoom no los ntawm kev siv cov dej txias kom txias ntawm cov khoom siv nyob rau hauv qhov chaw nyab xeeb. Nyob rau tib lub sijhawm, cov dej txias txias kuj tuaj yeem pab kho qhov kub thiab txias hauv qhov cub kom txhim kho qhov tseeb ntawm qhov ntsuas kub.
Hluav taws xob tswj qhov system
Lub tshuab hluav taws xob tswj hluav taws xob yog "lub hlwb" ntawm lub tshuab hluav taws xob ib leeg, lub luag haujlwm saib xyuas thiab tswj kev ua haujlwm ntawm tag nrho cov khoom siv. Nws tuaj yeem tau txais cov teeb liab los ntawm ntau yam sensors, xws li kub sensors, siab sensors, txoj hauj lwm sensors, thiab lwm yam., thiab tswj thiab tswj lub tshuab kis tau tus mob, cua kub tswj qhov system, lub tshuab nqus tsev system, argon system thiab dej txias system raws li cov teeb liab. Piv txwv li, thaum lub sij hawm siv lead ua txoj kev loj hlob, lub tshuab hluav taws xob tswj tau tuaj yeem hloov kho lub zog cua sov raws li qhov kub thiab txias teeb liab rov qab los ntawm qhov ntsuas kub; Raws li kev loj hlob ntawm cov siv lead ua, nws tuaj yeem tswj tau qhov txav ceev thiab lub kaum sab xis ntawm cov noob siv lead ua thiab crucible. Nyob rau tib lub sijhawm, lub kaw lus tswj hluav taws xob kuj tseem muaj kev kuaj xyuas tsis raug thiab lub tswb ua haujlwm, uas tuaj yeem kuaj xyuas cov khoom tsis zoo ntawm lub sijhawm thiab xyuas kom muaj kev nyab xeeb ntawm cov khoom siv.
Post lub sij hawm: Sep-23-2024