Sib txawv ntawm S1C cov khoom siv sib cais uas ua raws cov hluav taws xob siab, lub zog siab, siab zaus thiab cov yam ntxwv kub siab, lub hom phiaj kev tshawb fawb ntawm SiC kev sib koom ua ke yog qhov tseem ceeb kom tau txais qhov kub thiab txias digital Circuit Court rau lub zog ntse ICs tswj Circuit Court. Raws li SiC integrated circuit rau sab hauv hluav taws xob teb yog tsawg heev, yog li qhov cuam tshuam ntawm microtubules tsis xws luag yuav zoo heev, qhov no yog thawj daim ntawm monolithic SiC kev ua haujlwm amplifier nti tau txheeb xyuas, cov khoom tiav tiav thiab txiav txim siab los ntawm cov txiaj ntsig ntau dua. dua li microtubules tsis xws luag, yog li ntawd, raws li SiC yield qauv thiab Si thiab CaAs cov khoom yog qhov txawv. Lub nti yog raws li depletion NMOSFET thev naus laus zis. Qhov laj thawj tseem ceeb yog tias cov neeg nqa khoom muaj txiaj ntsig zoo ntawm kev rov qab channel SiC MOSFETs tsawg dhau. Txhawm rau txhim kho qhov chaw txav mus los ntawm Sic, nws yog qhov tsim nyog los txhim kho thiab ua kom zoo dua cov txheej txheem thermal oxidation ntawm Sic.
Purdue University tau ua haujlwm ntau ntawm SiC kev sib koom ua ke. Xyoo 1992, lub Hoobkas tau ua tiav tiav raws li qhov rov qab channel 6H-SIC NMOSFETs monolithic digital integrated circuit. Lub nti muaj thiab tsis rooj vag, lossis tsis rooj vag, ntawm lossis rooj vag, binary txee, thiab ib nrab adder circuits thiab tuaj yeem ua haujlwm tau zoo hauv qhov kub ntawm 25 ° C txog 300 ° C. Xyoo 1995, thawj lub dav hlau SiC MESFET Ics tau tsim los siv cov tshuab nqus tshuaj vanadium. Los ntawm kev tswj hwm tus nqi ntawm vanadium txhaj, ib qho insulating SiC tuaj yeem tau txais.
Hauv digital logic circuits, CMOS circuits yog qhov zoo nkauj dua li NMOS circuits. Thaum lub Cuaj Hlis 1996, thawj 6H-SIC CMOS digital integrated circuit tau tsim. Cov cuab yeej siv txhaj tshuaj N-kev txiav txim thiab tso tawm oxide txheej, tab sis vim muaj lwm yam teeb meem ntawm cov txheej txheem, lub nti PMOSFETs qhov pib voltage siab dhau lawm. Nyob rau lub Peb Hlis 1997 thaum tsim khoom thib ob tiam SiC CMOS Circuit Court. Lub tshuab txhaj tshuaj P ntxiab thiab thermal kev loj hlob oxide txheej yog saws. Qhov pib voltage ntawm PMOSEFTs tau txais los ntawm kev txhim kho cov txheej txheem yog hais txog -4.5V. Tag nrho cov circuits ntawm lub nti ua haujlwm zoo ntawm chav tsev kub txog 300 ° C thiab yog siv los ntawm ib lub zog hluav taws xob, uas tuaj yeem nyob qhov twg los ntawm 5 txog 15V.
Nrog rau kev txhim kho ntawm substrate wafer zoo, kev ua haujlwm ntau dua thiab ntau dua cov txiaj ntsig sib xyaw ua ke yuav raug ua. Txawm li cas los xij, thaum cov khoom siv SiC thiab cov txheej txheem teeb meem tau daws tau yooj yim, kev ntseeg siab ntawm cov cuab yeej thiab pob yuav dhau los ua qhov tseem ceeb cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm kev kub siab SiC integrated circuits.
Post lub sij hawm: Aug-23-2022