Thaum lub sij hawm vapor theem epitaxy (VPE) txheej txheem, lub luag hauj lwm ntawm lub pedestal yog los txhawb lub substrate thiab xyuas kom meej uniform cua sov thaum lub sij hawm txoj kev loj hlob. Ntau hom pedestals yog tsim rau cov kev loj hlob sib txawv thiab cov khoom siv. Cov hauv qab no yog qee yam ntawm cov pedestal feem ntau siv nyob rau hauv vapor theemepitaxy:
Barrel pedestal
Barrel pedestals feem ntau yog siv nyob rau hauv kab rov tav los yog qaij vapor theem epitaxy systems. Lawv tuaj yeem tuav lub substrate thiab tso cai rau cov roj ntws hla lub substrate, uas yuav pab ua kom muaj kev loj hlob zoo ntawm epitaxial.
Disc-shaped pedestal ( ntsug pedestal)
Disc-shaped pedestals yog tsim rau ntsug vapor theem epitaxy systems, nyob rau hauv uas lub substrate yog muab tso rau vertically. Qhov kev tsim no pab txo qhov chaw sib cuag ntawm lub substrate thiab cov susceptor, yog li txo qhov kub poob thiab muaj peev xwm kis tau.
Kab rov tav susceptor
Kab rov tav susceptors tsis tshua muaj nyob rau hauv vapor theem epitaxy, tab sis tej zaum yuav siv tau nyob rau hauv ib co kev loj hlob systems tso cai rau epitaxial loj hlob nyob rau hauv ib tug kab rov tav txoj kev.
Monolithic epitaxial cov tshuaj tiv thaiv susceptor
Lub monolithic epitaxial cov tshuaj tiv thaiv susceptor yog tsim los rau ib lub substrate, uas muaj peev xwm muab tau ntau yam kub tswj thiab zoo thermal rho tawm, haum rau kev loj hlob ntawm high-zoo epitaxial txheej.
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Post lub sij hawm: Lub Xya hli ntuj-30-2024