सीएमपी का योजनाकरण तंत्र क्या है?

डुअल-डेमास्किन एक प्रक्रिया प्रौद्योगिकी है जिसका उपयोग एकीकृत सर्किट में धातु इंटरकनेक्ट के निर्माण के लिए किया जाता है। यह दमिश्क प्रक्रिया का एक और विकास है। एक ही प्रक्रिया चरण में एक ही समय में छेद और खांचे बनाकर और उन्हें धातु से भरकर, धातु इंटरकनेक्ट के एकीकृत निर्माण का एहसास होता है।

इसे दमिश्क क्यों कहा जाता है?

दमिश्क शहर सीरिया की राजधानी है और दमिश्क की तलवारें अपनी धार और उत्कृष्ट बनावट के लिए प्रसिद्ध हैं। एक प्रकार की जड़ाई प्रक्रिया की आवश्यकता होती है: सबसे पहले, आवश्यक पैटर्न को दमिश्क स्टील की सतह पर उकेरा जाता है, और पहले से तैयार सामग्री को उत्कीर्ण खांचे में कसकर जड़ा जाता है। जड़ना पूरा होने के बाद, सतह थोड़ी असमान हो सकती है। समग्र चिकनाई सुनिश्चित करने के लिए शिल्पकार इसे सावधानीपूर्वक पॉलिश करेगा। और यह प्रक्रिया चिप की दोहरी दमिश्क प्रक्रिया का प्रोटोटाइप है। पहले ढांकता हुआ परत में खांचे या छेद खोदे जाते हैं और फिर उनमें धातु भर दी जाती है। भरने के बाद अतिरिक्त धातु को सीएमपी द्वारा हटा दिया जाएगा।

दोहरी दमिश्क प्रक्रिया के मुख्य चरणों में शामिल हैं:

▪ ढांकता हुआ परत का जमाव:

अर्धचालक पर ढांकता हुआ पदार्थ, जैसे सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2) की एक परत जमा करेंवफ़र.

▪ पैटर्न को परिभाषित करने के लिए फोटोलिथोग्राफी:

ढांकता हुआ परत पर विअस और खाइयों के पैटर्न को परिभाषित करने के लिए फोटोलिथोग्राफी का उपयोग करें।

▪एचिंग:

सूखी या गीली नक़्क़ाशी प्रक्रिया के माध्यम से विया और खाइयों के पैटर्न को ढांकता हुआ परत में स्थानांतरित करें।

▪ धातु का जमाव:

धातु इंटरकनेक्ट बनाने के लिए तांबे (Cu) या एल्यूमीनियम (Al) जैसी धातु को वाया और खाइयों में जमा करें।

▪रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग:

अतिरिक्त धातु को हटाने और सतह को समतल करने के लिए धातु की सतह की रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग।

पारंपरिक धातु इंटरकनेक्ट विनिर्माण प्रक्रिया की तुलना में, दोहरी दमिश्क प्रक्रिया के निम्नलिखित फायदे हैं:

▪सरलीकृत प्रक्रिया चरण:एक ही प्रक्रिया चरण में एक साथ विया और खाइयां बनाने से, प्रक्रिया चरण और विनिर्माण समय कम हो जाता है।

▪बेहतर विनिर्माण दक्षता:प्रक्रिया चरणों में कमी के कारण, दोहरी दमिश्क प्रक्रिया विनिर्माण दक्षता में सुधार कर सकती है और उत्पादन लागत को कम कर सकती है।

▪मेटल इंटरकनेक्ट के प्रदर्शन में सुधार:दोहरी दमिश्क प्रक्रिया संकीर्ण धातु इंटरकनेक्ट प्राप्त कर सकती है, जिससे सर्किट के एकीकरण और प्रदर्शन में सुधार होता है।

▪परजीवी समाई और प्रतिरोध को कम करें:लो-के ढांकता हुआ सामग्रियों का उपयोग करके और धातु इंटरकनेक्ट की संरचना को अनुकूलित करके, परजीवी कैपेसिटेंस और प्रतिरोध को कम किया जा सकता है, जिससे सर्किट की गति और बिजली खपत प्रदर्शन में सुधार होता है।