सिक कोटिंग क्या है? - पशुचिकित्सक ऊर्जा

सिलिकन कार्बाइडसिलिकॉन और कार्बन युक्त एक कठोर यौगिक है, और प्रकृति में अत्यंत दुर्लभ खनिज मोइसानाइट के रूप में पाया जाता है। सिलिकॉन कार्बाइड कणों को बहुत कठोर सिरेमिक बनाने के लिए सिंटरिंग द्वारा एक साथ जोड़ा जा सकता है, जो व्यापक रूप से उच्च स्थायित्व की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है, खासकर अर्धचालक जुलूस में।

SiC की भौतिक संरचना

SiC कोटिंग क्या है?

SiC कोटिंग उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध और उत्कृष्ट तापीय चालकता के साथ एक घनी, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग है। इस उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग का उपयोग मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगों में वेफर कैरियर, बेस और हीटिंग तत्वों को संक्षारक और प्रतिक्रियाशील वातावरण से बचाने के लिए किया जाता है। SiC कोटिंग वैक्यूम भट्टियों और उच्च वैक्यूम, प्रतिक्रियाशील और ऑक्सीजन वातावरण में नमूना हीटिंग के लिए भी उपयुक्त है।

उच्च शुद्धता SiC कोटिंग सतह

SiC कोटिंग प्रक्रिया क्या है?

का उपयोग करके सब्सट्रेट की सतह पर सिलिकॉन कार्बाइड की एक पतली परत जमा की जाती हैसीवीडी (रासायनिक वाष्प जमाव). जमाव आमतौर पर 1200-1300 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर किया जाता है और थर्मल तनाव को कम करने के लिए सब्सट्रेट सामग्री का थर्मल विस्तार व्यवहार SiC कोटिंग के साथ संगत होना चाहिए।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग फिल्म क्रिस्टल संरचना

SiC कोटिंग के भौतिक गुण मुख्य रूप से इसके उच्च तापमान प्रतिरोध, कठोरता, संक्षारण प्रतिरोध और तापीय चालकता में परिलक्षित होते हैं।

विशिष्ट भौतिक पैरामीटर आमतौर पर इस प्रकार हैं:

कठोरता: SiC कोटिंग में आमतौर पर 2000-2500 HV की रेंज में विकर्स कठोरता होती है, जो उन्हें औद्योगिक अनुप्रयोगों में अत्यधिक उच्च पहनने और प्रभाव प्रतिरोध प्रदान करती है।

घनत्व: SiC कोटिंग्स का घनत्व आमतौर पर 3.1-3.2 ग्राम/सेमी³ होता है। उच्च घनत्व कोटिंग की यांत्रिक शक्ति और स्थायित्व में योगदान देता है।

ऊष्मीय चालकता: SiC कोटिंग्स में उच्च तापीय चालकता होती है, आमतौर पर 120-200 W/mK (20°C पर) की सीमा में। यह इसे उच्च तापमान वाले वातावरण में अच्छी तापीय चालकता प्रदान करता है और इसे अर्धचालक उद्योग में ताप उपचार उपकरण के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है।

गलनांक: सिलिकॉन कार्बाइड का गलनांक लगभग 2730°C होता है और अत्यधिक तापमान पर इसमें उत्कृष्ट तापीय स्थिरता होती है।

थर्मल विस्तार का गुणांक: SiC कोटिंग्स में थर्मल विस्तार (सीटीई) का कम रैखिक गुणांक होता है, आमतौर पर 4.0-4.5 µm/mK (25-1000 ℃ में) की सीमा में। इसका मतलब यह है कि बड़े तापमान अंतर पर इसकी आयामी स्थिरता उत्कृष्ट है।

संक्षारण प्रतिरोध: SiC कोटिंग्स मजबूत एसिड, क्षार और ऑक्सीकरण वातावरण में संक्षारण के प्रति बेहद प्रतिरोधी हैं, खासकर जब मजबूत एसिड (जैसे एचएफ या एचसीएल) का उपयोग करते हैं, तो उनका संक्षारण प्रतिरोध पारंपरिक धातु सामग्री से कहीं अधिक होता है।

SiC कोटिंग्स निम्नलिखित सामग्रियों पर लागू की जा सकती हैं:

उच्च शुद्धता आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट (कम सीटीई)
टंगस्टन
मोलिब्डेनम
सिलिकन कार्बाइड
सिलिकॉन नाइट्राइड
कार्बन-कार्बन कंपोजिट (सीएफसी)

SiC लेपित उत्पाद आमतौर पर निम्नलिखित क्षेत्रों में उपयोग किए जाते हैं:

एलईडी चिप उत्पादन
पॉलीसिलिकॉन उत्पादन
सेमीकंडक्टरक्रिस्टल विकास
सिलिकॉन औरSiC एपिटैक्सी
वेफर ताप उपचार और नक़्क़ाशी

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