स्पटरिंग लक्ष्यमुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स और सूचना उद्योगों में उपयोग किया जाता है, जैसे एकीकृत सर्किट, सूचना भंडारण, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरी, इलेक्ट्रॉनिक नियंत्रण उपकरण इत्यादि। इनका उपयोग ग्लास कोटिंग के क्षेत्र में, साथ ही पहनने के प्रतिरोधी में भी किया जा सकता है। सामग्री, उच्च तापमान संक्षारण प्रतिरोध, उच्च अंत सजावटी उत्पाद और अन्य उद्योग।
स्पटरिंग पतली फिल्म सामग्री तैयार करने की मुख्य तकनीकों में से एक है।यह उच्च गति ऊर्जा आयन बीम बनाने, ठोस सतह पर बमबारी करने और आयनों और ठोस सतह परमाणुओं के बीच गतिज ऊर्जा का आदान-प्रदान करने के लिए वैक्यूम में तेजी लाने और एकत्र करने के लिए आयन स्रोतों द्वारा उत्पन्न आयनों का उपयोग करता है। ठोस सतह पर मौजूद परमाणु ठोस को छोड़ देते हैं और सब्सट्रेट की सतह पर जमा हो जाते हैं। बमबारी किया गया ठोस स्पटरिंग द्वारा पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कच्चा माल है, जिसे स्पटरिंग लक्ष्य कहा जाता है। सेमीकंडक्टर इंटीग्रेटेड सर्किट, रिकॉर्डिंग मीडिया, फ्लैट-पैनल डिस्प्ले और वर्कपीस सतह कोटिंग्स में विभिन्न प्रकार की स्पटर वाली पतली फिल्म सामग्री का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है।
सभी अनुप्रयोग उद्योगों में, सेमीकंडक्टर उद्योग में लक्ष्य स्पटरिंग फिल्मों के लिए सबसे कठोर गुणवत्ता की आवश्यकताएं हैं। उच्च शुद्धता वाले धातु स्पटरिंग लक्ष्य मुख्य रूप से वेफर विनिर्माण और उन्नत पैकेजिंग प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाते हैं। एक उदाहरण के रूप में चिप निर्माण को लेते हुए, हम देख सकते हैं कि एक सिलिकॉन वेफर से एक चिप तक, इसे 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियाओं से गुजरना पड़ता है, अर्थात् प्रसार (थर्मल प्रोसेस), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), ईच (ईच), आयन इम्प्लांटेशन (आयनइम्प्लांट), थिन फिल्म ग्रोथ (डाइलेक्ट्रिक डिपोजिशन), केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), मेटलाइजेशन (धातुकरण) प्रक्रियाएं एक-एक करके मेल खाती हैं। स्पटरिंग लक्ष्य का उपयोग "धातुकरण" की प्रक्रिया में किया जाता है। लक्ष्य पर पतली फिल्म जमाव उपकरण द्वारा उच्च ऊर्जा कणों के साथ बमबारी की जाती है और फिर सिलिकॉन वेफर पर विशिष्ट कार्यों के साथ एक धातु परत बनाई जाती है, जैसे प्रवाहकीय परत, बाधा परत। रुको। चूँकि संपूर्ण अर्धचालकों की प्रक्रियाएँ अलग-अलग होती हैं, इसलिए सिस्टम के सही ढंग से अस्तित्व में होने की पुष्टि के लिए कुछ सामयिक स्थितियों की आवश्यकता होती है, इसलिए हम प्रभावों की पुष्टि के लिए उत्पादन के कुछ चरणों में कुछ प्रकार की डमी सामग्रियों की माँग करते हैं।
पोस्ट समय: जनवरी-17-2022