ग्रेफाइट सामग्री की आवश्यकताओं के लिए सेमीकंडक्टर उद्योग की आवश्यकताएं विशेष रूप से उच्च हैं, ग्रेफाइट के बारीक कण आकार में उच्च परिशुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च शक्ति, छोटे नुकसान और अन्य फायदे हैं, जैसे: सिंटर्ड ग्रेफाइट उत्पाद मोल्ड।क्योंकि सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट उपकरण (हीटर और उनके सिंटेड डाई सहित) को बार-बार हीटिंग और कूलिंग प्रक्रियाओं का सामना करने की आवश्यकता होती है, ग्रेफाइट उपकरणों की सेवा जीवन को बढ़ाने के लिए, आमतौर पर यह आवश्यक होता है कि उपयोग की जाने वाली ग्रेफाइट सामग्री का प्रदर्शन स्थिर हो। और गर्मी प्रतिरोधी प्रभाव कार्य।
सेमीकंडक्टर क्रिस्टल विकास के लिए 01 ग्रेफाइट सहायक उपकरण
सेमीकंडक्टर क्रिस्टल विकसित करने के लिए उपयोग की जाने वाली सभी प्रक्रियाएं उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के तहत काम कर रही हैं। क्रिस्टल ग्रोथ भट्टी का गर्म क्षेत्र आमतौर पर गर्मी प्रतिरोधी और संक्षारण प्रतिरोधी उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट घटकों से सुसज्जित होता है, जैसे हीटर, क्रूसिबल, इन्सुलेशन सिलेंडर, गाइड सिलेंडर, इलेक्ट्रोड, क्रूसिबल धारक, इलेक्ट्रोड नट, आदि।
हम क्रिस्टल उत्पादन उपकरणों के सभी ग्रेफाइट भागों का निर्माण कर सकते हैं, जिन्हें व्यक्तिगत रूप से या सेट में आपूर्ति की जा सकती है, या ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों के अनुकूलित ग्रेफाइट भागों की आपूर्ति की जा सकती है। उत्पादों का आकार साइट पर मापा जा सकता है, और तैयार उत्पादों की राख सामग्री कम हो सकती है5 पीपीएम से अधिक.
सेमीकंडक्टर एपिटेक्सी के लिए 02 ग्रेफाइट सहायक उपकरण
एपिटैक्सियल प्रक्रिया एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर सब्सट्रेट के समान जाली व्यवस्था के साथ एकल क्रिस्टल सामग्री की एक परत के विकास को संदर्भित करती है। एपिटैक्सियल प्रक्रिया में, वेफर को ग्रेफाइट डिस्क पर लोड किया जाता है। ग्रेफाइट डिस्क का प्रदर्शन और गुणवत्ता वेफर की एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। एपिटैक्सियल उत्पादन के क्षेत्र में, एसआईसी कोटिंग के साथ अल्ट्रा-उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट और उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट बेस की बहुत आवश्यकता होती है।
सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी के लिए हमारी कंपनी के ग्रेफाइट बेस में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है, जो उद्योग में आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले अधिकांश उपकरणों से मेल खा सकता है, और इसमें उच्च शुद्धता, समान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन और उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता है।
आयन प्रत्यारोपण के लिए 03 ग्रेफाइट सहायक उपकरण
आयन आरोपण बोरान, फॉस्फोरस और आर्सेनिक के प्लाज्मा बीम को एक निश्चित ऊर्जा तक तेज करने और फिर सतह परत के भौतिक गुणों को बदलने के लिए इसे वेफर सामग्री की सतह परत में इंजेक्ट करने की प्रक्रिया को संदर्भित करता है। आयन इम्प्लांटेशन डिवाइस के घटक उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध, थर्मल चालकता, आयन बीम के कारण कम संक्षारण और कम अशुद्धता सामग्री के साथ उच्च शुद्धता वाली सामग्री से बने होंगे। उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करता है, और इसका उपयोग आयन इम्प्लांटेशन उपकरण की उड़ान ट्यूब, विभिन्न स्लिट, इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोड कवर, नाली, बीम टर्मिनेटर आदि के लिए किया जा सकता है।
हम न केवल विभिन्न आयन प्रत्यारोपण मशीनों के लिए ग्रेफाइट परिरक्षण कवर प्रदान कर सकते हैं, बल्कि विभिन्न विशिष्टताओं के उच्च संक्षारण प्रतिरोध के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड और आयन स्रोत भी प्रदान कर सकते हैं। लागू मॉडल: ईटन, एज़सेलिस, क्वाटम, वेरियन, निसिन, एएमएटी, एलएएम और अन्य उपकरण। इसके अलावा, हम मैचिंग सिरेमिक, टंगस्टन, मोलिब्डेनम, एल्यूमीनियम उत्पाद और लेपित हिस्से भी प्रदान कर सकते हैं।
04 ग्रेफाइट इन्सुलेशन सामग्री और अन्य
सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरण में उपयोग की जाने वाली थर्मल इन्सुलेशन सामग्री में ग्रेफाइट हार्ड फेल्ट, सॉफ्ट फेल्ट, ग्रेफाइट फ़ॉइल, ग्रेफाइट पेपर और ग्रेफाइट रस्सी शामिल हैं।
हमारे सभी कच्चे माल आयातित ग्रेफाइट हैं, जिन्हें ग्राहक की आवश्यकताओं के विशिष्ट आकार के अनुसार काटा जा सकता है या समग्र रूप से बेचा जा सकता है।
कार्बन-कार्बन ट्रे का उपयोग सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन और पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन कोशिकाओं की उत्पादन प्रक्रिया में फिल्म कोटिंग के लिए वाहक के रूप में किया जाता है। कार्य सिद्धांत यह है: सिलिकॉन चिप को सीएफसी ट्रे में डालें और फिल्म कोटिंग को संसाधित करने के लिए इसे भट्ठी ट्यूब में भेजें।
