No ke aha e piko ai nā paia ʻaoʻao i ka wā e kalai maloʻo ai?

ʻAʻole like ʻole o ka pahū ion

Malookalai anaʻO ka hana maʻamau ka hoʻohui ʻana i nā hopena kino a me nā hopena kemika, a ʻo ka hoʻomake ʻana i ka ion he ʻano hana etching kino nui. I ka wā o kakaʻina etching, ka huina hanana a me ka puunaue ikehu o na ion ua like ole paha.

Inā ʻokoʻa ke kihi hanana ion ma nā kūlana like ʻole ma ka ʻaoʻao ʻaoʻao, ʻokoʻa ka hopena etching o nā ion ma ka ʻaoʻao ʻaoʻao. Ma nā wahi me ka nui o nā kihi hanana ion, ʻoi aku ka ikaika o ka hopena etching o nā ion ma ka ʻaoʻao ʻaoʻao, ʻo ia ka mea e paʻa ai ka ʻaoʻao ʻaoʻao ma kēia wahi, e piʻo ai ka ʻaoʻao ʻaoʻao. Eia kekahi, ʻo ka puʻunaue like ʻole o ka ikehu ion e hana pū i nā hopena like. Hiki i nā Ion me ka ikehu kiʻekiʻe ke hoʻoneʻe i nā mea i ʻoi aku ka maikaʻi, ka hopena i ke kūlike ʻolekalai ananā degere o ka ʻaoʻao ʻaoʻao ma nā kūlana like ʻole, ʻo ia hoʻi ka mea e piʻo ai ka ʻaoʻao ʻaoʻao.

Ka hopena o ka photoresist

Hoʻokani ʻo Photoresist i ke ʻano o kahi mask i ka etching maloʻo, pale i nā wahi i pono ʻole ke kālai ʻia. Eia nō naʻe, pili pū ka photoresist e ka hoʻokuʻu ʻana i ka plasma a me nā hopena kemika i ka wā o ke kaʻina hana etching, a loli paha kāna hana.

Inā ʻaʻole kūlike ka mānoanoa o ka photoresist, ʻaʻole kūlike ka helu hoʻohana i ka wā o ke kaʻina hana etching, a ʻokoʻa paha ka hoʻopili ʻana ma waena o ka photoresist a me ka substrate ma nā wahi like ʻole, hiki ke alakaʻi i ka pale like ʻole o nā ʻaoʻao ʻaoʻao i ke kaʻina hana etching. No ka laʻana, ʻo nā wahi me ka photoresist ʻoi aku ka lahilahi a i ʻole ka hoʻopili nāwaliwali ʻana paha e maʻalahi ke kālai ʻia o ka mea i lalo, e kūlou ana nā paia ʻaoʻao ma kēia mau wahi.

Nā ʻokoʻa o nā waiwai mea substrate

Loaʻa paha nā waiwai like ʻole o ka mea substrate etched ponoʻī, e like me nā ʻano kristal like ʻole a me nā ʻano doping ma nā wahi like ʻole. E pili ana kēia mau ʻokoʻa i ka helu etching a me ke koho etching.
No ka laʻana, i loko o ke kinikini crystalline, ʻokoʻa ka hoʻonohonoho ʻana o nā ʻātoma silika ma nā ʻano aniani like ʻole, a ʻokoʻa hoʻi kā lākou reactivity a me ka helu etching me ke kinoea etching. I loko o ke kaʻina hana etching, ʻo ka nui o ke kalai ʻana ma muli o nā ʻokoʻa o nā waiwai waiwai e hoʻohālikelike i ka hohonu o nā ʻaoʻao ʻaoʻao ma nā wahi like ʻole, a hiki i ka piko ʻaoʻao.

Nā mea pili i nā lako

ʻO ka hana a me ke kūlana o nā mea hana etching kekahi hopena koʻikoʻi i nā hopena etching. No ka laʻana, hiki i nā pilikia e like me ka puʻunaue like ʻole o ka plasma i loko o ke keʻena pane a me ka ʻaʻahu electrode like ʻole ke alakaʻi i ka puʻunaue like ʻole o nā ʻāpana e like me ka ion density a me ka ikehu ma ka ʻili wafer i ka wā etching.

Eia kekahi, ʻo ka hoʻomalu wela ʻole o nā mea hana a me nā loli liʻiliʻi o ke kahe kinoea hiki ke hoʻopili i ka like ʻole o ka etching, e alakaʻi ana i ke kulou ʻaoʻao.