ʻO Dual-Damascene kahi ʻenehana kaʻina hana i hoʻohana ʻia no ka hana ʻana i nā mea hoʻohui metala ma nā kaapuni i hoʻohui ʻia. He hoʻomohala hou ia o ka hana Damaseko. Ma ka hana ʻana i nā lua a me nā ʻūhā i ka manawa like i ke kaʻina hana like a hoʻopiha iā lākou me ka metala, ʻike ʻia ka hana hoʻohui ʻia o nā mea pili metala.
No ke aha i kapa ʻia ai ʻo Damaseko?
ʻO ke kūlanakauhale ʻo Damaseko ke kapikala o Suria, a ua kaulana nā pahi kaua Damaseko no ko lākou ʻoi a me ke ʻano nani. Pono ʻia kahi ʻano hana inlay: ʻo ka mea mua, ua kahakaha ʻia ke ʻano i makemake ʻia ma ka ʻili o ke kila Damaseko, a ua hoʻopili paʻa ʻia nā mea i hoʻomākaukau mua ʻia i loko o nā awāwa i kahakaha ʻia. Ma hope o ka pau ʻana o ka hoʻokomo ʻana, ʻaʻole like paha ka ʻili. Na ka mea hana e hoʻoliʻi pono iā ia e hōʻoia i ka laumania holoʻokoʻa. A ʻo kēia kaʻina hana ka prototype o ke kaʻina hana ʻelua Damaseko o ka chip. ʻO ka mua, ua kahakaha ʻia nā ʻāpana a i ʻole nā lua i ka papa dielectric, a laila hoʻopiha ʻia ka metala i loko o lākou. Ma hope o ka hoʻopiha ʻana, e hoʻoneʻe ʻia ka metala keu e cmp.
ʻO nā ʻanuʻu nui o ke kaʻina hana pālua damascene:
▪ Ka waiho ʻana o ka papa dielectric:
E waiho i kahi papa o nā mea dielectric, e like me ka silicon dioxide (SiO2), ma ka semiconductorwafer.
▪ Photolithography e wehewehe i ke ʻano:
E hoʻohana i ka photolithography e wehewehe i ke ʻano o nā vias a me nā auwaha ma ka papa dielectric.
▪Kaʻi ʻana:
E hoʻololi i ke ʻano o nā vias a me nā ʻauwaha i ka papa dielectric ma o ke kaʻina etching maloʻo a pulu paha.
▪ Ka waiho ʻana o ka metala:
Waiho metala, e like me ke keleawe (Cu) a me ka aluminika (Al), i loko o nā vias a me nā auwaha e hana metala interconnects.
▪ Ka poni mekini kimika:
ʻO ka poli metala kemika o ka ʻili metala e hoʻoneʻe i ka metala keu a palahalaha i ka ʻili.
Ke hoʻohālikelike ʻia me ke kaʻina hana hoʻohui metala kuʻuna, ʻo ke kaʻina hana damascene ʻelua he mau mea maikaʻi aʻe:
▪Kaʻina hana maʻalahi:ma ka hana ʻana i nā vias a me nā ʻauwaha i ka manawa like ma ke kaʻina hana like, ua hoʻemi ʻia nā ʻanuʻu kaʻina hana a me ka manawa hana.
▪ʻOi aku ka maikaʻi o ka hana ʻana:ma muli o ka hōʻemi ʻana o nā kaʻina hana, hiki i ke kaʻina hana pālua damascene ke hoʻomaikaʻi i ka hana hana a hoʻemi i nā kumukūʻai hana.
▪E hoʻomaikaʻi i ka hana o nā mea pili metala:hiki i ke kaʻina hana pālua damascene ke hoʻokō i nā pilina metala ʻoi aku ka liʻiliʻi, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻohui ʻana a me ka hana o nā kaapuni.
▪E ho'ēmi i ka capacitance parasitic a me ke kū'ē:me ka hoʻohana ʻana i nā mea dielectric haʻahaʻa-k a me ka hoʻonui ʻana i ke ʻano o nā pilina metala, hiki ke hoʻemi ʻia ka capacitance parasitic a me ke kūpaʻa, e hoʻomaikaʻi i ka wikiwiki a me ka hoʻohana ʻana i ka mana o nā kaapuni.
Ka manawa hoʻouna: Nov-25-2024