Hiki ke hoʻomākaukau ʻia ka uhi SiC e ka hoʻoheheʻe ʻana o ka mahu (CVD), ka hoʻololi mua ʻana, ka pīpī plasma, a me nā mea ʻē aʻe. Ke hoʻohana nei i ka methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) ma ke ʻano he kumu silika, ʻo ka uhi SiC i hoʻomākaukau ʻia e ke ʻano CVD he ala ʻoi loa ia no ka hoʻohana ʻana i kēia uhi.
ʻO ka hoʻopili ʻana o SiC a me ka graphite he mea kūpono kemika maikaʻi, ʻo ka ʻokoʻa o ka hoʻonui ʻana o ka wela ma waena o lākou he liʻiliʻi, me ka hoʻohana ʻana i ka coating SiC hiki ke hoʻomaikaʻi maikaʻi i ke kūpaʻa a me ka pale ʻana o ka mea graphite. Ma waena o lākou, ʻo ka ratio stoichiometric, ka mahana hopena, ke kinoea dilution, ka kinoea haumia a me nā kūlana ʻē aʻe i ka hopena nui i ka hopena.
Ka manawa hoʻouna: Sep-14-2022