VET એનર્જી સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) એપિટેક્સિયલ વેફર ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, ઉચ્ચ આવર્તન અને ઉચ્ચ શક્તિ લાક્ષણિકતાઓ સાથે ઉચ્ચ-પ્રદર્શન વિશાળ બેન્ડગેપ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી છે. પાવર ઇલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણોની નવી પેઢી માટે તે એક આદર્શ સબસ્ટ્રેટ છે. વેફરની ઉત્કૃષ્ટ કામગીરી અને સુસંગતતાને સુનિશ્ચિત કરીને, SiC સબસ્ટ્રેટ્સ પર ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા SiC એપિટેક્સિયલ સ્તરો વિકસાવવા માટે VET એનર્જી અદ્યતન MOCVD એપિટાક્સિયલ ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરે છે.
અમારું સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) એપિટેક્સિયલ વેફર Si Wafer, SiC સબસ્ટ્રેટ, SOI વેફર અને SiN સબસ્ટ્રેટ સહિત વિવિધ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી સાથે ઉત્તમ સુસંગતતા પ્રદાન કરે છે. તેના મજબૂત એપિટેક્સિયલ સ્તર સાથે, તે એપી વેફર વૃદ્ધિ અને ગેલિયમ ઓક્સાઇડ Ga2O3 અને AlN વેફર જેવી સામગ્રી સાથે એકીકરણ જેવી અદ્યતન પ્રક્રિયાઓને સમર્થન આપે છે, જે વિવિધ તકનીકોમાં સર્વતોમુખી ઉપયોગની ખાતરી કરે છે. ઉદ્યોગ-પ્રમાણભૂત કેસેટ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ સાથે સુસંગત બનવા માટે રચાયેલ, તે સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન વાતાવરણમાં કાર્યક્ષમ અને સુવ્યવસ્થિત કામગીરીની ખાતરી કરે છે.
VET એનર્જીની પ્રોડક્ટ લાઇન SiC એપિટેક્સિયલ વેફર્સ સુધી મર્યાદિત નથી. અમે Si Wafer, SiC સબસ્ટ્રેટ, SOI વેફર, SiN સબસ્ટ્રેટ, Epi Wafer, વગેરે સહિતની સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીની વિશાળ શ્રેણી પણ પ્રદાન કરીએ છીએ. વધુમાં, અમે ગેલિયમ ઑક્સાઈડ Ga2O3 અને AlN જેવી નવી વિશાળ બૅન્ડગેપ સેમિકન્ડક્ટર મટિરિયલ્સ પણ સક્રિયપણે વિકસાવી રહ્યા છીએ. વેફર, ઉચ્ચ પ્રદર્શન ઉપકરણો માટેની ભાવિ પાવર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગની માંગને પહોંચી વળવા.
વેફરિંગ વિશિષ્ટતાઓ
*n-Pm=n-પ્રકાર Pm-ગ્રેડ,n-Ps=n-પ્રકાર Ps-ગ્રેડ,Sl=સેમી-લન્સ્યુલેટીંગ
વસ્તુ | 8-ઇંચ | 6-ઇંચ | 4-ઇંચ | ||
nP | n-Pm | n- Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
બો(GF3YFCD)-સંપૂર્ણ મૂલ્ય | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
વાર્પ(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
વેફર એજ | બેવલિંગ |
સરફેસ ફિનિશ
*n-Pm=n-પ્રકાર Pm-ગ્રેડ,n-Ps=n-પ્રકાર Ps-ગ્રેડ,Sl=સેમી-લન્સ્યુલેટીંગ
વસ્તુ | 8-ઇંચ | 6-ઇંચ | 4-ઇંચ | ||
nP | n-Pm | n- Ps | SI | SI | |
સપાટી સમાપ્ત | ડબલ સાઇડ ઓપ્ટિકલ પોલિશ, સી-ફેસ CMP | ||||
સપાટીની ખરબચડી | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-ફેસ Ra≤0.2nm | |||
એજ ચિપ્સ | કોઈની પરવાનગી નથી (લંબાઈ અને પહોળાઈ≥0.5 મીમી) | ||||
ઇન્ડેન્ટ્સ | કોઈ પરવાનગી નથી | ||||
સ્ક્રેચેસ(સી-ફેસ) | જથ્થો.≤5, સંચિત | જથ્થો.≤5, સંચિત | જથ્થો.≤5, સંચિત | ||
તિરાડો | કોઈ પરવાનગી નથી | ||||
એજ એક્સક્લુઝન | 3 મીમી |