સેમિકન્ડક્ટર માટે SiC કોટિંગ/કોટેડ ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ/ટ્રે

ટૂંકું વર્ણન:

એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ માટે VET એનર્જી SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર એ એક ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ઉત્પાદન છે જે વિસ્તૃત સમયગાળા દરમિયાન સતત અને વિશ્વસનીય કામગીરી પ્રદાન કરવા માટે રચાયેલ છે. તે ખૂબ સારી ગરમી પ્રતિકાર અને થર્મલ એકરૂપતા, ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ધોવાણ પ્રતિકાર ધરાવે છે, જે તેને વેફર પ્રોસેસિંગ એપ્લિકેશન માટે સંપૂર્ણ ઉકેલ બનાવે છે.


ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સેમિકન્ડક્ટર માટે ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરનું SiC કોટિંગ/કોટેડ
 
SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટસેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ ઉદ્યોગની સખત માંગને પહોંચી વળવા માટે રચાયેલ અત્યંત ટકાઉ અને કાર્યક્ષમ ઉકેલ છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતાનું સ્તર દર્શાવતુંસિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) કોટિંગ, આ સબસ્ટ્રેટ અસાધારણ થર્મલ સ્થિરતા, ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર અને લાંબા સમય સુધી સેવા જીવન પ્રદાન કરે છે, જે તેને MOCVD પ્રક્રિયાઓ, ગ્રેફાઇટ વેફર કેરિયર્સ અને અન્ય ઉચ્ચ-તાપમાન વાતાવરણમાં એપ્લિકેશન માટે આદર્શ બનાવે છે.

 વિશેષતાઓ: 
· ઉત્તમ થર્મલ શોક પ્રતિકાર
· ઉત્તમ શારીરિક આઘાત પ્રતિકાર
· ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર
· સુપર ઉચ્ચ શુદ્ધતા
· જટિલ આકારમાં ઉપલબ્ધતા
ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણ હેઠળ ઉપયોગ કરી શકાય છે

અરજી:

3

ઉત્પાદન સુવિધાઓ અને ફાયદા:

1. સુપિરિયર થર્મલ પ્રતિકાર:ઉચ્ચ શુદ્ધતા સાથેSiC કોટિંગ, સબસ્ટ્રેટ અતિશય તાપમાનનો સામનો કરે છે, એપિટાક્સી અને સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન જેવા માંગવાળા વાતાવરણમાં સતત કામગીરી સુનિશ્ચિત કરે છે.

2. ઉન્નત ટકાઉપણું:SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ ઘટકો રાસાયણિક કાટ અને ઓક્સિડેશનનો પ્રતિકાર કરવા માટે રચાયેલ છે, જે પ્રમાણભૂત ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટની તુલનામાં સબસ્ટ્રેટના જીવનકાળમાં વધારો કરે છે.

3. વિટ્રીયસ કોટેડ ગ્રેફાઇટ:ની અનન્ય કાચની રચનાSiC કોટિંગઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયા દરમિયાન ઘસારો ઘટાડીને, સપાટીની ઉત્તમ કઠિનતા પૂરી પાડે છે.

4. ઉચ્ચ શુદ્ધતા SiC કોટિંગ:અમારું સબસ્ટ્રેટ સંવેદનશીલ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં ન્યૂનતમ દૂષણની ખાતરી કરે છે, જે ઉદ્યોગો માટે વિશ્વસનીયતા પ્રદાન કરે છે જેને સખત સામગ્રી શુદ્ધતાની જરૂર હોય છે.

5. વાઈડ માર્કેટ એપ્લિકેશન:SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરસેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં અદ્યતન SiC કોટેડ ઉત્પાદનોની માંગમાં વધારો થતાં બજાર વધવાનું ચાલુ રાખે છે, આ સબસ્ટ્રેટને ગ્રેફાઇટ વેફર કેરિયર માર્કેટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટેડ ગ્રેફાઇટ ટ્રે માર્કેટ બંનેમાં મુખ્ય ખેલાડી તરીકે સ્થાન આપે છે.

બેઝ ગ્રેફાઇટ સામગ્રીના લાક્ષણિક ગુણધર્મો:

દેખીતી ઘનતા: 1.85 ગ્રામ/સેમી3
વિદ્યુત પ્રતિકારકતા: 11 μΩm
ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ: 49 MPa (500kgf/cm2)
કિનારાની કઠિનતા: 58
રાખ: <5ppm
થર્મલ વાહકતા: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

સીવીડી SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC ના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મોકોટિંગ

性质 / મિલકત

典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય

晶体结构 / ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર

FCC β તબક્કો 多晶,主要为(111)取向

密度 / ઘનતા

3.21 ગ્રામ/સેમી³

硬度 / કઠિનતા

2500 维氏硬度(500g લોડ)

晶粒大小 / અનાજનું કદ

2~10μm

纯度 / રાસાયણિક શુદ્ધતા

99.99995%

热容 / ગરમી ક્ષમતા

640 J·kg-1· કે-1

升华温度 / સબલાઈમેશન તાપમાન

2700℃

抗弯强度 / ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ

415 MPa RT 4-પોઇન્ટ

杨氏模量 / યંગનું મોડ્યુલસ

430 Gpa 4pt બેન્ડ, 1300℃

导热系数 / થર્મલ વાહકતા

300W·m-1· કે-1

热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET એનર્જી એ SIC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ, વગેરે જેવા વિવિધ કોટિંગ્સ સાથે કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેફાઇટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ઉત્પાદનોની વાસ્તવિક ઉત્પાદક છે, જે સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ માટે વિવિધ કસ્ટમાઇઝ્ડ ભાગો સપ્લાય કરી શકે છે.

અમારી તકનીકી ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.

અમે વધુ અદ્યતન સામગ્રી પ્રદાન કરવા માટે સતત અદ્યતન પ્રક્રિયાઓ વિકસાવીએ છીએ, અને એક વિશિષ્ટ પેટન્ટ ટેક્નોલોજી પર કામ કર્યું છે, જે કોટિંગ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બંધનને વધુ ચુસ્ત બનાવી શકે છે અને અલગ થવાની સંભાવના ઓછી છે.

અમારી ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે તમારું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ગત:
  • આગળ:

  • વોટ્સએપ ઓનલાઈન ચેટ!