રાસાયણિક વરાળ જમાવટ (સીવીડી) એ સિલિકોનની સપાટી પર નક્કર ફિલ્મ જમા કરવાની પ્રક્રિયાનો સંદર્ભ આપે છેવેફરગેસ મિશ્રણની રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા દ્વારા. વિવિધ પ્રતિક્રિયા પરિસ્થિતિઓ (દબાણ, પુરોગામી) અનુસાર, તેને વિવિધ સાધનોના મોડેલોમાં વિભાજિત કરી શકાય છે.
આ બે ઉપકરણો કઈ પ્રક્રિયાઓ માટે વપરાય છે?
PECVD(પ્લાઝમા એન્હાન્સ્ડ) સાધનો એ સૌથી વધુ સંખ્યાબંધ અને સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતા સાધનો છે, જેનો ઉપયોગ OX, નાઈટ્રાઈડ, મેટલ ગેટ, આકારહીન કાર્બન વગેરેમાં થાય છે; LPCVD (લો પાવર) નો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે નાઇટ્રાઇડ, પોલી, TEOS માં થાય છે.
સિદ્ધાંત શું છે?
PECVD - એક પ્રક્રિયા જે પ્લાઝ્મા એનર્જી અને CVD ને સંપૂર્ણ રીતે જોડે છે. PECVD ટેક્નોલોજી નીચા દબાણ હેઠળ પ્રોસેસ ચેમ્બર (એટલે કે સેમ્પલ ટ્રે) ના કેથોડ પર ગ્લો ડિસ્ચાર્જ પ્રેરિત કરવા માટે ઓછા તાપમાનના પ્લાઝ્માનો ઉપયોગ કરે છે. આ ગ્લો ડિસ્ચાર્જ અથવા અન્ય હીટિંગ ઉપકરણ નમૂનાના તાપમાનને પૂર્વનિર્ધારિત સ્તરે વધારી શકે છે, અને પછી પ્રક્રિયા ગેસની નિયંત્રિત માત્રા દાખલ કરી શકે છે. આ ગેસ રાસાયણિક અને પ્લાઝ્મા પ્રતિક્રિયાઓની શ્રેણીમાંથી પસાર થાય છે, અને અંતે નમૂનાની સપાટી પર એક નક્કર ફિલ્મ બનાવે છે.
LPCVD - લો-પ્રેશર રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (LPCVD) એ રિએક્ટરમાં પ્રતિક્રિયા ગેસના ઓપરેટિંગ દબાણને લગભગ 133Pa અથવા તેનાથી ઓછા કરવા માટે રચાયેલ છે.
દરેકની વિશેષતાઓ શું છે?
PECVD - એક પ્રક્રિયા જે સંપૂર્ણપણે પ્લાઝ્મા એનર્જી અને CVD ને જોડે છે: 1) નીચા-તાપમાનની કામગીરી (ઉપકરણને ઊંચા તાપમાને થતા નુકસાનને ટાળવું); 2) ઝડપી ફિલ્મ વૃદ્ધિ; 3) સામગ્રી વિશે પસંદ નથી, OX, નાઇટ્રાઇડ, મેટલ ગેટ, આકારહીન કાર્બન બધું જ વિકસી શકે છે; 4) એક ઇન-સીટુ મોનિટરિંગ સિસ્ટમ છે, જે આયન પેરામીટર્સ, ગેસ ફ્લો રેટ, તાપમાન અને ફિલ્મની જાડાઈ દ્વારા રેસીપીને સમાયોજિત કરી શકે છે.
LPCVD - LPCVD દ્વારા જમા કરવામાં આવતી પાતળી ફિલ્મોમાં બહેતર સ્ટેપ કવરેજ, સારી રચના અને માળખું નિયંત્રણ, ઉચ્ચ જમા દર અને આઉટપુટ હશે. વધુમાં, LPCVD ને વાહક ગેસની જરૂર નથી, તેથી તે કણોના પ્રદૂષણના સ્ત્રોતને મોટા પ્રમાણમાં ઘટાડે છે અને પાતળા ફિલ્મ જમાવટ માટે ઉચ્ચ મૂલ્ય-વર્ધિત સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.
વધુ ચર્ચા માટે અમારી મુલાકાત લેવા માટે વિશ્વભરના કોઈપણ ગ્રાહકોનું સ્વાગત છે!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
પોસ્ટ સમય: જુલાઈ-24-2024