સિલિકોન કાર્બાઇડસિલિકોન અને કાર્બન ધરાવતું કઠણ સંયોજન છે અને તે અત્યંત દુર્લભ ખનિજ મોઈસાનાઈટ તરીકે પ્રકૃતિમાં જોવા મળે છે. સિલિકોન કાર્બાઇડના કણોને સિન્ટરિંગ દ્વારા એકસાથે જોડી શકાય છે અને ખૂબ જ સખત સિરામિક્સ બનાવે છે, જેનો ઉપયોગ ઉચ્ચ ટકાઉપણુંની જરૂર હોય તેવા કાર્યક્રમોમાં થાય છે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર સરઘસમાં.
SiC ની શારીરિક રચના
SiC કોટિંગ શું છે?
SiC કોટિંગ એ ગાઢ, વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટિંગ છે જે ઉચ્ચ કાટ અને ગરમી પ્રતિકાર અને ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા ધરાવે છે. આ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા SiC કોટિંગનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગોમાં વેફર કેરિયર્સ, પાયા અને હીટિંગ તત્વોને કાટ અને પ્રતિક્રિયાશીલ વાતાવરણથી બચાવવા માટે થાય છે. SiC કોટિંગ ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ, પ્રતિક્રિયાશીલ અને ઓક્સિજન વાતાવરણમાં વેક્યૂમ ભઠ્ઠીઓ અને નમૂના ગરમ કરવા માટે પણ યોગ્ય છે.
ઉચ્ચ શુદ્ધતા SiC કોટિંગ સપાટી
SiC કોટિંગ પ્રક્રિયા શું છે?
સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર સિલિકોન કાર્બાઇડનો પાતળો પડ જમા થાય છેCVD (રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન). ડિપોઝિશન સામાન્ય રીતે 1200-1300 °C તાપમાને હાથ ધરવામાં આવે છે અને થર્મલ તણાવ ઘટાડવા માટે સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીનું થર્મલ વિસ્તરણ વર્તન SiC કોટિંગ સાથે સુસંગત હોવું જોઈએ.
CVD SIC કોટિંગ ફિલ્મ ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર
SiC કોટિંગના ભૌતિક ગુણધર્મો મુખ્યત્વે તેના ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કઠિનતા, કાટ પ્રતિકાર અને થર્મલ વાહકતામાં પ્રતિબિંબિત થાય છે.
લાક્ષણિક ભૌતિક પરિમાણો સામાન્ય રીતે નીચે મુજબ છે:
કઠિનતા: SiC કોટિંગમાં સામાન્ય રીતે 2000-2500 HV ની રેન્જમાં વિકર્સ હાર્ડનેસ હોય છે, જે તેમને ઔદ્યોગિક કાર્યક્રમોમાં અત્યંત ઉચ્ચ વસ્ત્રો અને અસર પ્રતિકાર આપે છે.
ઘનતા: SiC કોટિંગ્સમાં સામાન્ય રીતે 3.1-3.2 g/cm³ ની ઘનતા હોય છે. ઉચ્ચ ઘનતા કોટિંગની યાંત્રિક શક્તિ અને ટકાઉપણુંમાં ફાળો આપે છે.
થર્મલ વાહકતા: SiC કોટિંગ્સમાં ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા હોય છે, સામાન્ય રીતે 120-200 W/mK (20 °C પર) ની રેન્જમાં. આ તેને ઉચ્ચ તાપમાનના વાતાવરણમાં સારી થર્મલ વાહકતા આપે છે અને તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં હીટ ટ્રીટમેન્ટ સાધનો માટે ખાસ કરીને યોગ્ય બનાવે છે.
ગલનબિંદુ: સિલિકોન કાર્બાઇડનું ગલનબિંદુ આશરે 2730°C છે અને તે અતિશય તાપમાને ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા ધરાવે છે.
થર્મલ વિસ્તરણના ગુણાંક: SiC કોટિંગ્સમાં થર્મલ વિસ્તરણ (CTE)નું નીચું રેખીય ગુણાંક હોય છે, જે સામાન્ય રીતે 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ માં) ની રેન્જમાં હોય છે. આનો અર્થ એ છે કે તેની પરિમાણીય સ્થિરતા મોટા તાપમાનના તફાવતો પર ઉત્તમ છે.
કાટ પ્રતિકાર: SiC કોટિંગ્સ મજબૂત એસિડ, આલ્કલી અને ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણમાં કાટ માટે અત્યંત પ્રતિરોધક છે, ખાસ કરીને જ્યારે મજબૂત એસિડ્સ (જેમ કે HF અથવા HCl) નો ઉપયોગ કરતી વખતે, તેમની કાટ પ્રતિકાર પરંપરાગત ધાતુની સામગ્રી કરતાં ઘણી વધી જાય છે.
SiC કોટિંગ્સ નીચેની સામગ્રી પર લાગુ કરી શકાય છે:
ઉચ્ચ શુદ્ધતા આઇસોસ્ટેટિક ગ્રેફાઇટ (ઓછી CTE)
ટંગસ્ટન
મોલિબ્ડેનમ
સિલિકોન કાર્બાઇડ
સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ
કાર્બન-કાર્બન કમ્પોઝીટ (CFC)
SiC કોટેડ ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે નીચેના વિસ્તારોમાં થાય છે:
એલઇડી ચિપ ઉત્પાદન
પોલિસીકોન ઉત્પાદન
સેમિકન્ડક્ટરસ્ફટિક વૃદ્ધિ
સિલિકોન અનેSiC એપિટાક્સી
વેફર હીટ ટ્રીટમેન્ટ અને એચીંગ
શા માટે VET એનર્જી પસંદ કરો?
VET એનર્જી એ ચીનમાં SiC કોટિંગ ઉત્પાદનોના અગ્રણી ઉત્પાદક, સંશોધક અને અગ્રણી છે, જેમાં મુખ્ય SiC કોટિંગ ઉત્પાદનોનો સમાવેશ થાય છે.SiC કોટિંગ સાથે વેફર કેરિયર, SiC કોટેડએપિટેક્સિયલ સસેપ્ટર, SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ રીંગ, SiC કોટિંગ સાથે અર્ધ-ચંદ્રના ભાગો, SiC કોટેડ કાર્બન-કાર્બન સંયુક્ત, SiC કોટેડ વેફર બોટ, SiC કોટેડ હીટર, વગેરે. VET એનર્જી સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગને અંતિમ તકનીક અને ઉત્પાદન ઉકેલો પ્રદાન કરવા માટે પ્રતિબદ્ધ છે અને કસ્ટમાઇઝેશન સેવાઓને સમર્થન આપે છે. અમે ચીનમાં તમારા લાંબા ગાળાના ભાગીદાર બનવા માટે નિષ્ઠાપૂર્વક આતુર છીએ.
જો તમારી પાસે કોઈ પૂછપરછ હોય અથવા વધારાની વિગતોની જરૂર હોય, તો કૃપા કરીને અમારો સંપર્ક કરવામાં અચકાશો નહીં.
Whatsapp અને Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
પોસ્ટ સમય: ઑક્ટો-18-2024