વરાળ તબક્કાના એપિટાક્સી માટે સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા પેડેસ્ટલ્સ

વેપર ફેઝ એપિટેક્સી (VPE) પ્રક્રિયા દરમિયાન, પેડેસ્ટલની ભૂમિકા સબસ્ટ્રેટને ટેકો આપવા અને વૃદ્ધિ પ્રક્રિયા દરમિયાન સમાન ગરમીની ખાતરી કરવાની છે. વિવિધ પ્રકારનાં પેડેસ્ટલ્સ વિવિધ વૃદ્ધિની પરિસ્થિતિઓ અને સામગ્રી પ્રણાલીઓ માટે યોગ્ય છે. વરાળ તબક્કામાં સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા કેટલાક પેડેસ્ટલ પ્રકારો નીચે મુજબ છેએપિટાક્સી:

બેરલ પેડેસ્ટલ

બેરલ પેડેસ્ટલ્સનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે આડી અથવા નમેલી વરાળ તબક્કાની એપિટેક્સી સિસ્ટમ્સમાં થાય છે. તેઓ સબસ્ટ્રેટને પકડી શકે છે અને ગેસને સબસ્ટ્રેટ પર વહેવા દે છે, જે સમાન એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે.

ડિસ્ક આકારની પેડેસ્ટલ (ઊભી પેડેસ્ટલ)

ડિસ્ક-આકારના પેડેસ્ટલ્સ વર્ટિકલ વેપર ફેઝ એપિટાક્સી સિસ્ટમ્સ માટે યોગ્ય છે, જેમાં સબસ્ટ્રેટ ઊભી રીતે મૂકવામાં આવે છે. આ ડિઝાઇન સબસ્ટ્રેટ અને સસેપ્ટર વચ્ચેના સંપર્ક વિસ્તારને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે, ત્યાં ગરમીનું નુકસાન અને સંભવિત દૂષણ ઘટાડે છે.

આડું સસેપ્ટર

વરાળ તબક્કાના એપિટાક્સીમાં હોરિઝોન્ટલ સસેપ્ટર્સ ઓછા સામાન્ય છે, પરંતુ કેટલીક ચોક્કસ વૃદ્ધિ પ્રણાલીઓમાં તેનો ઉપયોગ આડી દિશામાં એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિને મંજૂરી આપવા માટે થઈ શકે છે.

મોનોલિથિક એપિટેક્સિયલ પ્રતિક્રિયા સસેપ્ટર

મોનોલિથિક એપિટેક્સિયલ રિએક્શન સસેપ્ટર સિંગલ સબસ્ટ્રેટ માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યું છે, જે વધુ ચોક્કસ તાપમાન નિયંત્રણ અને બહેતર થર્મલ આઇસોલેશન પ્રદાન કરી શકે છે, જે ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા એપિટેક્સિયલ સ્તરોના વિકાસ માટે યોગ્ય છે.

ઉત્પાદન માહિતી અને પરામર્શ માટે અમારી વેબસાઇટ પર આપનું સ્વાગત છે.

અમારી વેબસાઇટ: https://www.vet-china.com/