સેમિકન્ડક્ટર ક્ષેત્રમાં સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સનો ઉપયોગ

ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનોના ચોકસાઇવાળા ભાગો માટે પસંદગીની સામગ્રી

સેમિકન્ડક્ટર ક્ષેત્રમાં,સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિકસિલિકોન કાર્બાઈડ વર્કટેબલ, ગાઈડ રેલ્સ જેવા ઈન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ મેન્યુફેક્ચરિંગ માટેના મુખ્ય સાધનોમાં મુખ્યત્વે સામગ્રીનો ઉપયોગ થાય છે.પરાવર્તક, સિરામિક સક્શન ચકલિથોગ્રાફી મશીનો માટે આર્મ્સ, ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્ક, ફિક્સર વગેરે.

સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ભાગોસેમિકન્ડક્ટર અને ઓપ્ટિકલ સાધનો માટે

● સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્ક. જો ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્ક કાસ્ટ આયર્ન અથવા કાર્બન સ્ટીલની બનેલી હોય, તો તેની સર્વિસ લાઇફ ટૂંકી હોય છે અને તેનો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક મોટો હોય છે. સિલિકોન વેફરની પ્રક્રિયા દરમિયાન, ખાસ કરીને હાઇ-સ્પીડ ગ્રાઇન્ડીંગ અથવા પોલિશિંગ દરમિયાન, ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્કના વસ્ત્રો અને થર્મલ વિકૃતિને કારણે સિલિકોન વેફરની સપાટતા અને સમાનતાની ખાતરી કરવી મુશ્કેલ બને છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સની બનેલી ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્કમાં ઉચ્ચ કઠિનતા અને ઓછા વસ્ત્રો હોય છે, અને થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક મૂળભૂત રીતે સિલિકોન વેફર્સ જેટલો જ હોય ​​છે, તેથી તે ઊંચી ઝડપે ગ્રાઉન્ડ અને પોલિશ કરી શકાય છે.
● સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ફિક્સ્ચર. વધુમાં, જ્યારે સિલિકોન વેફર્સનું ઉત્પાદન કરવામાં આવે છે, ત્યારે તેમને ઉચ્ચ-તાપમાનની ગરમીની સારવારમાંથી પસાર થવું પડે છે અને ઘણીવાર સિલિકોન કાર્બાઇડ ફિક્સરનો ઉપયોગ કરીને પરિવહન કરવામાં આવે છે. તેઓ ગરમી-પ્રતિરોધક અને બિન-વિનાશક છે. હીરા જેવા કાર્બન (DLC) અને અન્ય કોટિંગ્સ સપાટી પર કાર્યક્ષમતા વધારવા, વેફરના નુકસાનને ઘટાડવા અને દૂષણને ફેલાતા અટકાવવા માટે લાગુ કરી શકાય છે.
● સિલિકોન કાર્બાઇડ વર્કટેબલ. લિથોગ્રાફી મશીનમાં વર્કટેબલને ઉદાહરણ તરીકે લઈએ તો, વર્કટેબલ મુખ્યત્વે એક્સપોઝર ચળવળને પૂર્ણ કરવા માટે જવાબદાર છે, જેમાં હાઇ-સ્પીડ, લાર્જ-સ્ટ્રોક, સિક્સ-ડિગ્રી-ઓફ-ફ્રીડમ નેનો-લેવલ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મૂવમેન્ટની જરૂર પડે છે. ઉદાહરણ તરીકે, 100nm નું રિઝોલ્યુશન, 33nm ની ઓવરલે ચોકસાઈ અને 10nm ની લાઇન પહોળાઈ સાથે લિથોગ્રાફી મશીન માટે, વર્કટેબલ પોઝિશનિંગ ચોકસાઈ 10nm સુધી પહોંચવા માટે જરૂરી છે, માસ્ક-સિલિકોન વેફર એક સાથે સ્ટેપિંગ અને સ્કેનિંગ સ્પીડ 150nm/s છે. અને અનુક્રમે 120nm/s, અને માસ્ક સ્કેનિંગ સ્પીડ 500nm/s ની નજીક છે, અને વર્કટેબલમાં ખૂબ ઊંચી ગતિ સચોટતા અને સ્થિરતા હોવી જરૂરી છે.

વર્કટેબલ અને માઇક્રો-મોશન ટેબલ (આંશિક વિભાગ) ની યોજનાકીય રેખાકૃતિ

● સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ચોરસ મિરર. લિથોગ્રાફી મશીનો જેવા મુખ્ય સંકલિત સર્કિટ સાધનોમાં મુખ્ય ઘટકો જટિલ આકાર, જટિલ પરિમાણો અને હોલો લાઇટવેઇટ સ્ટ્રક્ચર્સ ધરાવે છે, જે આવા સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ઘટકોને તૈયાર કરવાનું મુશ્કેલ બનાવે છે. હાલમાં, નેધરલેન્ડમાં ASML, NIKON અને જાપાનમાં CANON જેવા મુખ્ય પ્રવાહના આંતરરાષ્ટ્રીય સંકલિત સર્કિટ સાધનો ઉત્પાદકો, ચોરસ મિરર્સ, લિથોગ્રાફી મશીનોના મુખ્ય ઘટકો, અને સિલિકોન કાર્બાઇડનો ઉપયોગ કરવા માટે માઇક્રોક્રિસ્ટલાઇન ગ્લાસ અને કોર્ડિરાઇટ જેવી મોટી માત્રામાં સામગ્રીનો ઉપયોગ કરે છે. સિરામિક્સ સરળ આકાર સાથે અન્ય ઉચ્ચ-પ્રદર્શન માળખાકીય ઘટકો તૈયાર કરવા માટે. જોકે, ચાઇના બિલ્ડીંગ મટિરિયલ્સ રિસર્ચ ઇન્સ્ટિટ્યૂટના નિષ્ણાતોએ લિથોગ્રાફી મશીનો માટે મોટા-કદના, જટિલ-આકારના, અત્યંત હળવા, સંપૂર્ણ રીતે બંધ સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક ચોરસ મિરર્સ અને અન્ય માળખાકીય અને કાર્યાત્મક ઓપ્ટિકલ ઘટકોની તૈયારી હાંસલ કરવા માટે માલિકીની તૈયારી તકનીકનો ઉપયોગ કર્યો છે.