સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોમુખ્યત્વે ઈલેક્ટ્રોનિક્સ અને ઈન્ફોર્મેશન ઈન્ડસ્ટ્રીઝમાં વપરાય છે, જેમ કે ઈન્ટીગ્રેટેડ સર્કિટ, ઈન્ફોર્મેશન સ્ટોરેજ, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ ડિસ્પ્લે, લેસર મેમોરી, ઈલેક્ટ્રોનિક કંટ્રોલ ડિવાઈસ વગેરે. તેનો ઉપયોગ ગ્લાસ કોટિંગના ક્ષેત્રમાં તેમજ વસ્ત્રો-પ્રતિરોધકમાં પણ થઈ શકે છે. સામગ્રી, ઉચ્ચ-તાપમાન કાટ પ્રતિકાર, ઉચ્ચ-અંતના સુશોભન ઉત્પાદનો અને અન્ય ઉદ્યોગો.
પાતળી ફિલ્મ સામગ્રી તૈયાર કરવા માટેની મુખ્ય તકનીકોમાંની એક સ્પટરિંગ છે.તે વેક્યૂમમાં વેક્યૂમમાં વેગ અને એકત્ર કરવા માટે, નક્કર સપાટી પર બોમ્બમારો કરવા, અને આયનો અને નક્કર સપાટીના અણુઓ વચ્ચે ગતિ ઊર્જાનું વિનિમય કરવા માટે આયન સ્ત્રોતો દ્વારા ઉત્પન્ન થયેલા આયનોનો ઉપયોગ કરે છે. ઘન સપાટી પરના અણુઓ નક્કર છોડે છે અને સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર જમા થાય છે. બોમ્બાર્ડ સોલિડ એ સ્પુટરિંગ દ્વારા પાતળી ફિલ્મો જમા કરવા માટેનો કાચો માલ છે, જેને સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટ કહેવામાં આવે છે. સેમિકન્ડક્ટર ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ, રેકોર્ડિંગ મીડિયા, ફ્લેટ-પેનલ ડિસ્પ્લે અને વર્કપીસની સપાટીના કોટિંગ્સમાં વિવિધ પ્રકારની સ્પુટર્ડ પાતળી ફિલ્મ સામગ્રીનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો છે.
તમામ એપ્લિકેશન ઉદ્યોગોમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ટાર્ગેટ સ્પુટરિંગ ફિલ્મો માટે સૌથી વધુ કડક ગુણવત્તાની આવશ્યકતાઓ છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા મેટલ સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે વેફર ઉત્પાદન અને અદ્યતન પેકેજિંગ પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે. ચિપ ઉત્પાદનને ઉદાહરણ તરીકે લેતા, આપણે જોઈ શકીએ છીએ કે સિલિકોન વેફરથી ચિપ સુધી, તેને 7 મુખ્ય ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાંથી પસાર થવાની જરૂર છે, જેમ કે પ્રસરણ (થર્મલ પ્રક્રિયા), ફોટો-લિથોગ્રાફી (ફોટો-લિથોગ્રાફી), ઇચ (ઇચ), આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન (આયન ઇમ્પ્લાન્ટ), પાતળી ફિલ્મ ગ્રોથ (ડાઇલેક્ટ્રિક ડિપોઝિશન), કેમિકલ મિકેનિકલ પોલિશિંગ (સીએમપી), ધાતુકરણ (મેટાલાઇઝેશન) પ્રક્રિયાઓ એક પછી એક અનુલક્ષે છે. સ્પુટરિંગ લક્ષ્યનો ઉપયોગ "મેટાલાઇઝેશન" ની પ્રક્રિયામાં થાય છે. પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશન સાધનો દ્વારા ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા કણો સાથે લક્ષ્ય પર બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે અને પછી સિલિકોન વેફર પર ચોક્કસ કાર્યો સાથે મેટલ સ્તર રચાય છે, જેમ કે વાહક સ્તર, અવરોધ સ્તર. રાહ જુઓ. સમગ્ર સેમિકન્ડક્ટરની પ્રક્રિયાઓ વિવિધ હોવાથી સિસ્ટમ યોગ્ય રીતે અસ્તિત્વમાં છે તે ચકાસવા માટે કેટલીક પ્રસંગોપાત પરિસ્થિતિઓની જરૂર પડે છે તેથી અમે અસરોની પુષ્ટિ કરવા ઉત્પાદનના ચોક્કસ તબક્કામાં અમુક પ્રકારની બનાવટી સામગ્રીની માંગ કરીએ છીએ.
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-17-2022