ગ્રેફાઇટ સામગ્રીની જરૂરિયાતોની સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગની જરૂરિયાતો ખાસ કરીને ઊંચી છે, ગ્રેફાઇટના સૂક્ષ્મ કણોના કદમાં ઉચ્ચ ચોકસાઇ, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, ઉચ્ચ શક્તિ, નાના નુકસાન અને અન્ય ફાયદાઓ છે, જેમ કે: સિન્ટર્ડ ગ્રેફાઇટ ઉત્પાદનો મોલ્ડ.કારણ કે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં વપરાતા ગ્રેફાઇટ સાધનો (હીટર અને તેના સિન્ટર્ડ ડાઈઝ સહિત)ને વારંવાર ગરમી અને ઠંડકની પ્રક્રિયાઓનો સામનો કરવો જરૂરી છે, ગ્રેફાઇટ સાધનોની સર્વિસ લાઇફ વધારવા માટે, સામાન્ય રીતે તે જરૂરી છે કે વપરાયેલ ગ્રેફાઇટ સામગ્રી સ્થિર કામગીરી ધરાવે છે. અને ગરમી પ્રતિરોધક અસર કાર્ય.
સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ વૃદ્ધિ માટે 01 ગ્રેફાઇટ એક્સેસરીઝ
સેમિકન્ડક્ટર ક્રિસ્ટલ ઉગાડવા માટે વપરાતી તમામ પ્રક્રિયાઓ ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટ લાગતા વાતાવરણ હેઠળ કાર્ય કરે છે. ક્રિસ્ટલ ગ્રોથ ફર્નેસનો હોટ ઝોન સામાન્ય રીતે ગરમી-પ્રતિરોધક અને કાટ-પ્રતિરોધક ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગ્રેફાઇટ ઘટકોથી સજ્જ હોય છે, જેમ કે હીટર, ક્રુસિબલ, ઇન્સ્યુલેશન સિલિન્ડર, ગાઇડ સિલિન્ડર, ઇલેક્ટ્રોડ, ક્રુસિબલ હોલ્ડર, ઇલેક્ટ્રોડ અખરોટ વગેરે.
અમે ક્રિસ્ટલ ઉત્પાદન ઉપકરણોના તમામ ગ્રેફાઇટ ભાગોનું ઉત્પાદન કરી શકીએ છીએ, જે વ્યક્તિગત રીતે અથવા સેટમાં પૂરા પાડી શકાય છે અથવા ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર વિવિધ કદના ગ્રેફાઇટ ભાગો કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે. ઉત્પાદનોનું કદ સાઇટ પર માપી શકાય છે, અને તૈયાર ઉત્પાદનોની રાખ સામગ્રી ઓછી હોઈ શકે છે5ppm કરતાં.
02 સેમિકન્ડક્ટર એપિટેક્સી માટે ગ્રેફાઇટ એક્સેસરીઝ
એપિટેક્સિયલ પ્રક્રિયા એ સિંગલ ક્રિસ્ટલ સબસ્ટ્રેટ પરના સબસ્ટ્રેટની સમાન જાળીની ગોઠવણી સાથે સિંગલ ક્રિસ્ટલ સામગ્રીના સ્તરની વૃદ્ધિનો સંદર્ભ આપે છે. એપિટેક્સિયલ પ્રક્રિયામાં, વેફર ગ્રેફાઇટ ડિસ્ક પર લોડ થાય છે. ગ્રેફાઇટ ડિસ્કની કામગીરી અને ગુણવત્તા વેફરના એપિટેક્સિયલ સ્તરની ગુણવત્તામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. એપિટેક્સિયલ ઉત્પાદનના ક્ષેત્રમાં, SIC કોટિંગ સાથે અતિશય ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ અને ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ આધારની જરૂર છે.
સેમિકન્ડક્ટર એપિટેક્સી માટે અમારી કંપનીના ગ્રેફાઇટ બેઝમાં એપ્લિકેશનની વિશાળ શ્રેણી છે, તે ઉદ્યોગમાં સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા મોટાભાગના સાધનો સાથે મેળ ખાય છે અને ઉચ્ચ શુદ્ધતા, સમાન કોટિંગ, ઉત્તમ સેવા જીવન અને ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ધરાવે છે.
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન માટે 03 ગ્રેફાઇટ એસેસરીઝ
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન એ બોરોન, ફોસ્ફરસ અને આર્સેનિકના પ્લાઝ્મા બીમને ચોક્કસ ઉર્જા સુધી વેગ આપવાની પ્રક્રિયાનો સંદર્ભ આપે છે અને પછી સપાટીના સ્તરના ભૌતિક ગુણધર્મોને બદલવા માટે વેફર સામગ્રીના સપાટીના સ્તરમાં ઇન્જેક્ટ કરવામાં આવે છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ડિવાઇસના ઘટકો ઉત્તમ ગરમી પ્રતિકાર, થર્મલ વાહકતા, આયન બીમના કારણે ઓછા કાટ અને ઓછી અશુદ્ધતા ધરાવતી ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી સામગ્રીથી બનેલા હોવા જોઈએ. ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ એપ્લીકેશનની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે, અને તેનો ઉપયોગ આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન સાધનોના ફ્લાઇટ ટ્યુબ, વિવિધ સ્લિટ્સ, ઇલેક્ટ્રોડ, ઇલેક્ટ્રોડ કવર, નળીઓ, બીમ ટર્મિનેટર વગેરે માટે થઈ શકે છે.
અમે વિવિધ આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીનો માટે માત્ર ગ્રેફાઇટ શિલ્ડિંગ કવર જ પ્રદાન કરી શકતા નથી, પરંતુ વિવિધ વિશિષ્ટતાઓના ઉચ્ચ કાટ પ્રતિકાર સાથે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ ઇલેક્ટ્રોડ અને આયન સ્ત્રોતો પણ પ્રદાન કરી શકીએ છીએ. લાગુ મોડલ: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM અને અન્ય સાધનો. આ ઉપરાંત, અમે મેચિંગ સિરામિક, ટંગસ્ટન, મોલિબડેનમ, એલ્યુમિનિયમ ઉત્પાદનો અને કોટેડ ભાગો પણ પ્રદાન કરી શકીએ છીએ.
04 ગ્રેફાઇટ ઇન્સ્યુલેશન સામગ્રી અને અન્ય
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં વપરાતી થર્મલ ઇન્સ્યુલેશન સામગ્રીમાં ગ્રેફાઇટ હાર્ડ ફીલ, સોફ્ટ ફીલ્ટ, ગ્રેફાઇટ ફોઇલ, ગ્રેફાઇટ પેપર અને ગ્રેફાઇટ દોરડાનો સમાવેશ થાય છે.
અમારી બધી કાચી સામગ્રી આયાતી ગ્રેફાઇટ છે, જે ગ્રાહકની જરૂરિયાતોના ચોક્કસ કદ અનુસાર કાપી શકાય છે અથવા સંપૂર્ણ રીતે વેચી શકાય છે.
કાર્બન-કાર્બન ટ્રેનો ઉપયોગ સૌર મોનોક્રિસ્ટલાઇન સિલિકોન અને પોલીક્રિસ્ટલાઇન સિલિકોન કોષોની ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ફિલ્મ કોટિંગ માટે વાહક તરીકે થાય છે. કાર્યકારી સિદ્ધાંત છે: સીએફસી ટ્રેમાં સિલિકોન ચિપ દાખલ કરો અને ફિલ્મ કોટિંગ પર પ્રક્રિયા કરવા માટે તેને ફર્નેસ ટ્યુબમાં મોકલો.
