એપિટેક્સિયલ એપી ગ્રેફાઇટ બેરલ સસેપ્ટર
એપિટેક્સિયલ એપી ગ્રેફાઇટ બેરલ સસેપ્ટરડિપોઝિશન અથવા એપિટેક્સી પ્રક્રિયાઓ જેવી ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટને પકડી રાખવા અને ગરમ કરવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતું એક ખાસ ડિઝાઇન કરેલ સપોર્ટ અને હીટિંગ ડિવાઇસ છે.
તેની રચનામાં સામાન્ય રીતે નળાકાર અથવા સહેજ બેરલ-આકારનો સમાવેશ થાય છે, સપાટીની વિશેષતાઓ બહુવિધ ખિસ્સા અથવા વેફર મૂકવા માટે પ્લેટફોર્મ ધરાવે છે, ગરમીની પદ્ધતિના આધારે, નક્કર અથવા હોલો ડિઝાઇન હોઈ શકે છે.
એપિટેક્સિયલ બેરલ સસેપ્ટરના મુખ્ય કાર્યો:
-સબસ્ટ્રેટ સપોર્ટ: બહુવિધ સેમિકન્ડક્ટર વેફર્સ સુરક્ષિત રીતે ધરાવે છે;
-હીટ સ્ત્રોત: હીટિંગ દ્વારા વૃદ્ધિ માટે જરૂરી ઊંચા તાપમાન પ્રદાન કરે છે;
-તાપમાન એકરૂપતા: સબસ્ટ્રેટની સમાન ગરમીની ખાતરી કરે છે;
- પરિભ્રમણ: સામાન્ય રીતે તાપમાન અને ગેસ વિતરણની એકરૂપતાને સુધારવા માટે વૃદ્ધિ દરમિયાન ફરે છે.
એપી ગ્રેફાઇટ બેરલ સસેપ્ટરનું કાર્ય સિદ્ધાંત:
- એપિટેક્સિયલ રિએક્ટરમાં, બેરલ સસેપ્ટરને જરૂરી તાપમાને ગરમ કરવામાં આવે છે (સિલિકોન એપિટાક્સી માટે સામાન્ય રીતે 1000℃-1200℃);
-બેરલ સસેપ્ટર સમાન તાપમાન વિતરણ અને ગેસ પ્રવાહની ખાતરી કરવા માટે ફરે છે;
-પ્રતિક્રિયા વાયુઓ ઊંચા તાપમાને વિઘટિત થાય છે, સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર એપિટેક્સિયલ સ્તરો બનાવે છે.
એપ્લિકેશન્સ:
- મુખ્યત્વે સિલિકોન એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ માટે વપરાય છે
- GaAs, InP, વગેરે જેવી અન્ય સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીના એપિટાક્સી માટે પણ લાગુ પડે છે.
રાસાયણિક સ્થિરતા વધારવા માટે VET એનર્જી CVD-SiC કોટિંગ સાથે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટનો ઉપયોગ કરે છે:
VET એનર્જી એપિટેક્સિયલ એપી ગ્રેફાઇટ બેરલ સસેપ્ટરના ફાયદા:
- ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા;
- સારી થર્મલ એકરૂપતા;
- ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરીને, એકસાથે બહુવિધ સબસ્ટ્રેટ પર પ્રક્રિયા કરી શકે છે;
-રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા વૃદ્ધિ વાતાવરણ જાળવી રાખે છે.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd એ હાઇ-ટેક એન્ટરપ્રાઇઝ છે જે હાઇ-એન્ડ અદ્યતન સામગ્રીના ઉત્પાદન અને વેચાણ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, સિરામિક્સ, સપાટીની સારવાર જેવી કે SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન સહિતની સામગ્રી અને ટેકનોલોજી. કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ, વગેરે, આ ઉત્પાદનોનો વ્યાપકપણે ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઉર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર, વગેરે.
અમારી તકનીકી ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, અને ઉત્પાદન પ્રદર્શન અને ગુણવત્તાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઘણી પેટન્ટ ટેક્નોલોજીઓ વિકસાવી છે, ગ્રાહકોને વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પણ પ્રદાન કરી શકે છે.
ટેકનિકલ ચર્ચા અને સહકાર માટે અમારી પ્રયોગશાળા અને પ્લાન્ટની મુલાકાત લેવા માટે અમે તમારું હાર્દિક સ્વાગત કરીએ છીએ!
