Carburo de silicioé un composto duro que contén silicio e carbono, e atópase na natureza como un mineral moi raro moissanite. As partículas de carburo de silicio pódense unir entre si mediante sinterización para formar cerámicas moi duras, que son moi utilizadas en aplicacións que requiren unha alta durabilidade, especialmente na procesión de semicondutores.
Estrutura física do SiC
Que é o revestimento de SiC?
O revestimento de SiC é un revestimento de carburo de silicio denso e resistente ao desgaste cunha alta resistencia á corrosión e á calor e unha excelente condutividade térmica. Este revestimento de SiC de alta pureza utilízase principalmente nas industrias de semicondutores e electrónica para protexer os soportes, bases e elementos de calefacción de obleas de ambientes corrosivos e reactivos. O revestimento de SiC tamén é axeitado para fornos de baleiro e quecemento de mostras en ambientes de alto baleiro, reactivos e de osíxeno.
Superficie de revestimento de SiC de alta pureza
Cal é o proceso de revestimento de SiC?
Unha fina capa de carburo de silicio é depositada na superficie do substrato usandoCVD (Deposición Química en Vapor). A deposición adoita realizarse a temperaturas de 1200-1300 °C e o comportamento de expansión térmica do material do substrato debe ser compatible co revestimento de SiC para minimizar o estrés térmico.
Revestimento CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE
As propiedades físicas do revestimento de SiC reflíctese principalmente na súa resistencia á alta temperatura, dureza, resistencia á corrosión e condutividade térmica.
Os parámetros físicos típicos adoitan ser os seguintes:
Dureza: O revestimento de SiC adoita ter unha dureza Vickers no rango de 2000-2500 HV, o que lles proporciona unha resistencia ao desgaste e ao impacto extremadamente alta en aplicacións industriais.
Densidade: Os revestimentos de SiC teñen normalmente unha densidade de 3,1-3,2 g/cm³. A alta densidade contribúe á resistencia mecánica e á durabilidade do revestimento.
Condutividade térmica: Os revestimentos de SiC teñen unha alta condutividade térmica, normalmente no intervalo de 120-200 W/mK (a 20 °C). Isto dálle unha boa condutividade térmica en ambientes de alta temperatura e faino especialmente axeitado para equipos de tratamento térmico na industria de semicondutores.
Punto de fusión: o carburo de silicio ten un punto de fusión de aproximadamente 2730 °C e ten unha excelente estabilidade térmica a temperaturas extremas.
Coeficiente de dilatación térmica: Os revestimentos de SiC teñen un baixo coeficiente lineal de expansión térmica (CTE), normalmente no intervalo de 4,0-4,5 µm/mK (entre 25 e 1000 ℃). Isto significa que a súa estabilidade dimensional é excelente ante grandes diferenzas de temperatura.
Resistencia á corrosión: Os revestimentos de SiC son extremadamente resistentes á corrosión en ambientes ácidos fortes, álcalis e oxidantes, especialmente cando se usan ácidos fortes (como HF ou HCl), a súa resistencia á corrosión supera con moito á dos materiais metálicos convencionais.
Os revestimentos de SiC pódense aplicar aos seguintes materiais:
Grafito isostático de alta pureza (baixo CTE)
Volframio
Molibdeno
Carburo de silicio
Nitruro de silicio
Compostos de carbono-carbono (CFC)
Os produtos revestidos de SiC úsanse habitualmente nas seguintes áreas:
Produción de chip LED
Produción de polisilicio
Semicondutorcrecemento dos cristais
Silicio eepitaxia SiC
Tratamento térmico de obleas e gravado
Por que escoller VET Energy?
VET Energy é un fabricante líder, innovador e líder de produtos de revestimento de SiC en China, os principais produtos de revestimento de SiC inclúensoporte de obleas con revestimento de SiC, revestido de SiCsusceptor epitaxial, Anel de grafito revestido de SiC, Partes de media lúa con revestimento de SiC, Composto de carbono-carbono revestido de SiC, Barco de obleas revestido de SiC, Calentador revestido de SiC, etc. VET Energy comprométese a proporcionar á industria de semicondutores as mellores solucións tecnolóxicas e de produtos, e admite servizos de personalización. Agardamos sinceramente ser o seu compañeiro a longo prazo en China.
Se tes algunha dúbida ou necesitas detalles adicionais, non dubides en poñerte en contacto connosco.
Whatsapp e Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Hora de publicación: 18-Oct-2024