O revestimento de SiC pódese preparar mediante deposición de vapor químico (CVD), transformación de precursores, pulverización de plasma, etc. O revestimento preparado mediante deposición de vapor QUÍMICO é uniforme e compacto e ten boa capacidade de deseño. Usando metiltriclosilano. (CHzSiCl3, MTS) como fonte de silicio, preparación de revestimento de SiC...
Ler máis