Is e teicneòlas pròiseas a th ’ann an Dual-Damascene a thathas a’ cleachdadh gus eadar-cheanglaichean meatailt a dhèanamh ann an cuairtean amalaichte. Tha e na leasachadh eile air pròiseas Damascus. Le bhith a 'cruthachadh tro thuill agus claisean aig an aon àm anns an aon cheum pròiseas agus gan lìonadh le meatailt, thathar a' toirt gu buil saothrachadh aonaichte de eadar-cheanglaichean meatailt.
Carson a chanar Damascus ris?
'S e Damascus prìomh-bhaile Shiria, agus tha claidheamhan Damascus ainmeil airson cho geur agus cho math 's a tha iad. Tha feum air seòrsa de phròiseas in-ghabhail: an toiseach, tha am pàtran a tha a dhìth air a ghràbhaladh air uachdar stàilinn Damascus, agus tha na stuthan a chaidh ullachadh ro-làimh air an cuir a-steach gu teann a-steach do na claisean gràbhalaidh. Às deidh an còmhdach a-staigh a chrìochnachadh, faodaidh an uachdar a bhith beagan neo-chòmhnard. Cuiridh an neach-ciùird gu faiceallach e gus dèanamh cinnteach gu bheil e rèidh san fharsaingeachd. Agus is e am pròiseas seo am prototype den phròiseas Damascus dùbailte den chip. An toiseach, tha claisean no tuill air an gràbhaladh anns an t-sreath dielectric, agus an uairsin tha meatailt air a lìonadh annta. An dèidh a lìonadh, thèid an còrr de mheatailt a thoirt air falbh le cmp.
Am measg nam prìomh cheumannan den phròiseas damascene dùbailte tha:
▪ Tasgaidh còmhdach dielectric:
Cuir a-steach còmhdach de stuth dielectric, leithid silicon dà-ogsaid (SiO2), air an semiconductorwafer.
▪ Photolithography gus am pàtran a mhìneachadh:
Cleachd photolithography gus pàtran vias agus trainnsichean air an t-sreath dielectric a mhìneachadh.
▪Eiteadh:
Cuir thairis pàtran nan vias agus na trainnsichean chun an t-sreath dielectric tro phròiseas sgudail tioram no fliuch.
▪ Tasgaidh meatailt:
Tasgaidh meatailt, leithid copar (Cu) no alùmanum (Al), ann an vias agus trainnsichean gus eadar-cheanglaichean meatailt a chruthachadh.
▪ Snasadh meacanaigeach ceimigeach:
Snasadh meacanaigeach ceimigeach air an uachdar meatailt gus cus meatailt a thoirt air falbh agus an uachdar a dhèanamh rèidh.
An coimeas ris a’ phròiseas saothrachaidh eadar-cheangail meatailt traidiseanta, tha na buannachdan a leanas aig a’ phròiseas damascene dùbailte:
▪ Ceumannan pròiseas nas sìmplidhe:le bhith a’ cruthachadh vias agus trainnsichean aig an aon àm anns an aon cheum pròiseas, tha na ceumannan pròiseas agus an ùine saothrachaidh air an lughdachadh.
▪ Èifeachdas saothrachaidh nas fheàrr:mar thoradh air lughdachadh ceumannan pròiseas, faodaidh am pròiseas damascene dùbailte èifeachdas saothrachaidh adhartachadh agus cosgaisean toraidh a lughdachadh.
▪Leasaich coileanadh eadar-cheanglaichean meatailt:faodaidh am pròiseas damascene dùbailte eadar-cheanglaichean meatailt nas cumhainge a choileanadh, agus mar sin ag adhartachadh amalachadh agus coileanadh chuairtean.
▪ Lùghdaich comas agus strì an aghaidh dìosganach:Le bhith a’ cleachdadh stuthan dielectric ìosal-k agus a’ dèanamh an fheum as fheàrr de structar eadar-cheanglaichean meatailt, faodar capacitance agus strì an aghaidh dìosganach a lughdachadh, ag adhartachadh astar agus coileanadh caitheamh cumhachd chuairtean.
Ùine puist: Samhain-25-2024