Is e aon fhùirneis criostail inneal a bhios a’ cleachdadh ateasadair grafaitgus stuthan silicon polycrystalline a leaghadh ann an àrainneachd gas inert (argon) agus a’ cleachdadh an dòigh Czochralski gus criostalan singilte neo-sgaraichte fhàs. Tha e gu ìre mhòr air a dhèanamh suas de na siostaman a leanas:
Siostam tar-chuir meacanaigeach
Is e an siostam tar-chuir meacanaigeach an siostam obrachaidh bunaiteach den fhùirneis criostail singilte, a tha gu mòr an urra ri smachd a chumail air gluasad criostalan aguscrucibles, a’ gabhail a-steach togail agus cuairteachadh criostalan sìl agus togail agus cuairteachadhcrucibles. Is urrainn dha paramadairean atharrachadh gu ceart leithid suidheachadh, astar agus ceàrn cuairteachaidh criostalan agus bhreugan gus dèanamh cinnteach à adhartas rèidh ann am pròiseas fàs criostail. Mar eisimpleir, ann an diofar ìrean fàis criostail leithid sìolachadh, amhach, gualainn, fàs trast-thomhas co-ionann agus earbaill, feumaidh an siostam seo smachd ceart a chumail air gluasad criostalan sìl agus crucibles gus coinneachadh ri riatanasan pròiseas fàs criostal.
Siostam smachd teothachd teasachaidh
Is e seo aon de na prìomh shiostaman den fhùirneis criostail singilte, a thathas a’ cleachdadh gus teas a ghineadh agus smachd ceart a chumail air teòthachd an fhùirneis. Tha e gu ìre mhòr air a dhèanamh suas de cho-phàirtean leithid teasadairean, mothachairean teothachd, agus luchd-riaghlaidh teothachd. Mar as trice bidh an teasadair air a dhèanamh de stuthan leithid grafait fìor-ghlan. Às deidh an t-sruth eile a bhith air a chruth-atharrachadh agus air a lughdachadh gus an sruth àrdachadh, bidh an teasadair a’ gineadh teas gus stuthan polycrystalline leithid polysilicon a leaghadh anns an t-sruth. Bidh an sensor teodhachd a’ cumail sùil air na h-atharrachaidhean teothachd san fhùirneis ann an àm fìor agus a’ sgaoileadh a’ chomharra teòthachd chun rianadair teothachd. Bidh an rianadair teodhachd a’ cumail smachd ceart air a’ chumhachd teasachaidh a rèir nam paramadairean teodhachd suidhichte agus an comharra teòthachd fios-air-ais, mar sin a’ cumail seasmhachd an teòthachd anns an fhùirneis agus a’ toirt seachad àrainneachd teòthachd iomchaidh airson fàs criostal.
Vacuum siostam
Is e prìomh obair an t-siostam falamh àrainneachd falamh a chruthachadh agus a chumail anns an fhùirneis rè pròiseas fàs criostail. Bithear a’ toirt a-mach na gasaichean èadhair is neo-thruaillidh san fhùirneis tro phumpaichean falamh agus uidheamachd eile gus am bi cuideam gas san fhùirneis a’ ruighinn ìre gu math ìosal, sa chumantas nas ìsle na 5TOR (torr). Faodaidh seo casg a chuir air an stuth silicon bho bhith air a oxidachadh aig teòthachd àrd agus dèanamh cinnteach à purrachd agus càileachd fàs criostail. Aig an aon àm, tha an àrainneachd falamh cuideachd cuideachail airson a bhith a ’toirt air falbh neo-chunbhalachd luaineach a chaidh a chruthachadh tron phròiseas fàs criostail agus a’ leasachadh càileachd a ’chriostail.
Argon siostam
Tha pàirt aig an t-siostam argon ann a bhith a 'dìon agus a' riaghladh a 'chuideam anns an fhùirneis anns an fhùirneis criostail singilte. Às deidh falmhachadh, tha gas argon àrd-ghlan (feumaidh purrachd a bhith os cionn 6 9) air a lìonadh a-steach don fhùirneis. Air an aon làimh, faodaidh e casg a chuir air èadhar a-muigh bho bhith a ’dol a-steach don fhùirneis agus casg a chuir air stuthan silicon bho bhith air an oxidachadh; air an làimh eile, faodaidh lìonadh gas argon an cuideam anns an fhùirneis a chumail seasmhach agus àrainneachd cuideam iomchaidh a thoirt seachad airson fàs criostail. A bharrachd air an sin, faodaidh sruthadh gas argon cuideachd an teas a ghineadh tron phròiseas fàs criostail a thoirt air falbh, a ’cluich pàirt fuarachaidh sònraichte.
Siostam fuarachaidh uisge
Is e gnìomh an t-siostam fuarachaidh uisge na diofar phàirtean àrd-teodhachd den fhùirneis criostail singilte a fhuarachadh gus dèanamh cinnteach à obrachadh àbhaisteach agus beatha seirbheis an uidheim. Rè obrachadh an fhùirneis criostail singilte, an teasadair,ceusadh, electrode agus co-phàirtean eile a ghineadh tòrr teas. Mura h-eil iad air am fuarachadh ann an ùine, bidh an uidheamachd a’ teasachadh cus, deform no eadhon air a mhilleadh. Bidh an siostam fuarachaidh uisge a ’toirt air falbh teas nan co-phàirtean sin le bhith a’ cuairteachadh uisge fuarachaidh gus teòthachd an uidheim a chumail taobh a-staigh raon sàbhailte. Aig an aon àm, faodaidh an siostam fuarachaidh uisge cuideachd cuideachadh le bhith ag atharrachadh an teòthachd san fhùirneis gus cruinneas smachd teothachd a leasachadh.
Siostam smachd dealain
Is e an siostam smachd dealain an “eanchainn” den fhùirneis criostail singilte, le uallach airson sùil a chumail air agus smachd a chumail air gnìomhachd an uidheamachd gu lèir. Faodaidh e comharran fhaighinn bho dhiofar luchd-mothachaidh, leithid mothachaidhean teothachd, mothachaidhean cuideam, mothachaidhean suidheachadh, msaa, agus co-òrdanachadh agus smachd a chumail air an t-siostam tar-chuir meacanaigeach, siostam smachd teothachd teasachaidh, siostam falamh, siostam argon agus siostam fuarachaidh uisge stèidhichte air na comharran sin. Mar eisimpleir, tron phròiseas fàs criostail, faodaidh an siostam smachd dealain an cumhachd teasachaidh atharrachadh gu fèin-ghluasadach a rèir a ’chomharra teòthachd a bheir an sensor teothachd air ais; a rèir fàs a ’chriostail, faodaidh e smachd a chumail air astar gluasaid agus ceàrn cuairteachaidh a’ chriostail sìl agus an rùsg. Aig an aon àm, tha gnìomhan sgrùdaidh locht agus rabhaidh aig an t-siostam smachd dealain cuideachd, a lorgas suidheachadh neo-àbhaisteach an uidheamachd ann an ùine agus a nì cinnteach gu bheil an uidheamachd ag obair gu sàbhailte.
Ùine puist: Sultain-23-2024