Tron phròiseas epitaxy ìre vapor (VPE), is e àite a’ choise taic a thoirt don fho-strat agus dèanamh cinnteach à teasachadh èideadh tron phròiseas fàis. Tha diofar sheòrsaichean de pedestals freagarrach airson diofar shuidheachaidhean fàis agus siostaman stuthan. Is iad na leanas cuid de na seòrsaichean pedestal a thathas a’ cleachdadh gu cumanta aig ìre bhalbhaicheanepitaxy:
Buntàta baraille
Bithear a’ cleachdadh peadalan baraille gu cumanta ann an siostaman epitaxy ìre vapor còmhnard no claon. Faodaidh iad an t-substrate a chumail agus leigeil leis a ’gas sruthadh thairis air an t-substrate, a chuidicheas le bhith a’ coileanadh fàs epitaxial èideadh.
Pedal ann an cruth diosc (pedal dìreach)
Tha peadalan ann an cumadh diosc freagarrach airson siostaman epitaxy ìre vapor dìreach, anns a bheil an substrate air a chuir gu dìreach. Tha an dealbhadh seo a 'cuideachadh le bhith a' lùghdachadh an àite conaltraidh eadar an t-substrate agus an t-substrate, agus mar sin a 'lùghdachadh call teas agus truailleadh a dh'fhaodadh a bhith ann.
Susceptor còmhnard
Chan eil susceptors còmhnard cho cumanta ann an epitaxy ìre vapor, ach faodar an cleachdadh ann an cuid de shiostaman fàis sònraichte gus leigeil le fàs epitaxial ann an slighe chòmhnard.
Susceptor freagairt epitaxial monolithic
Tha an suidse freagairt epitaxial monolithic air a dhealbhadh airson aon fho-fhilleadh, a bheir seachad smachd teothachd nas mionaidiche agus aonaranachd teirmeach nas fheàrr, a tha iomchaidh airson fàs sreathan epitaxial àrd-inbhe.
Fàilte don làrach-lìn againn airson fiosrachadh toraidh agus co-chomhairle.
An làrach-lìn againn: https://www.vet-china.com/
Ùine puist: Iuchar-30-2024