Sputtering targaideanair an cleachdadh sa mhòr-chuid anns na gnìomhachasan dealanach agus fiosrachaidh, leithid cuairtean amalaichte, stòradh fiosrachaidh, taisbeanaidhean criostal liùlach, cuimhneachain laser, innealan smachd dealanach, msaa. Faodar an cleachdadh cuideachd ann an raon còmhdach glainne, a bharrachd air ann an caitheamh stuthan, àrd-teòthachd an aghaidh creimeadh, àrd-deireadh stuthan sgeadachaidh agus gnìomhachasan eile.
Is e sputtering aon de na prìomh dhòighean air stuthan film tana ullachadh.Bidh e a’ cleachdadh ionsan air an gineadh le stòran ian gus luathachadh agus cruinneachadh ann am falamh gus sailean ian lùth àrd-astar a chruthachadh, an uachdar cruaidh a bhomadh, agus lùth cinneachail iomlaid eadar ions agus dadaman uachdar cruaidh. Bidh na dadaman air an uachdar cruaidh a’ fàgail a’ chruaidh agus air an tasgadh air uachdar an t-substrate. Is e an solid bombarded an stuth amh airson filmichean tana a thasgadh le sputtering, ris an canar sputtering target. Chaidh diofar sheòrsaichean de stuthan film tana sputtered a chleachdadh gu farsaing ann an cuairtean aonaichte semiconductor, meadhanan clàraidh, taisbeanaidhean pannal còmhnard agus còmhdach uachdar obrach.
Am measg a h-uile gnìomhachas tagraidh, tha na riatanasan càileachd as cruaidhe aig a’ ghnìomhachas semiconductor airson filmichean sputtering targaid. Tha targaidean sputtering meatailt àrd-purity air an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an saothrachadh wafer agus pròiseasan pacaidh adhartach. A’ gabhail saothrachadh chip mar eisimpleir, chì sinn, bho wafer silicon gu sliseag, gum feum e a dhol tro 7 prìomh phròiseasan cinneasachaidh, is e sin sgaoileadh (Pròiseas Teirmeach), Photo-lithography (Dealbh-lithography), Etch (Etch), Ion-phlanadh ian (IonImplant), Fàs Film Thin (Tasgaidh Dielectric), Snasadh Meacanaigeach Ceimigeach (CMP), Metalization (Metalization) Bidh na pròiseasan a’ freagairt aon ri aon. Tha an targaid sputtering air a chleachdadh anns a 'phròiseas "metalization". Tha an targaid air a bhomadh le gràinean àrd-lùth le uidheamachd tasgaidh film tana agus an uairsin tha còmhdach meatailt le gnìomhan sònraichte air a chruthachadh air an wafer silicon, leithid còmhdach giùlain, còmhdach bacaidh. Wait.Since gu bheil pròiseasan nan semiconductors gu lèir eadar-dhealaichte, tha feum air corra shuidheachaidhean airson dearbhadh gu bheil an siostam ann gu ceart agus mar sin bidh sinn ag iarraidh cuid de sheòrsan stuthan meallta aig ìrean sònraichte de chinneasachadh gus a’ bhuaidh a dhearbhadh.
Ùine puist: Faoilleach 17-2022