Tha riatanasan gnìomhachas semiconductor a thaobh riatanasan stuth grafait gu sònraichte àrd, tha mionaideachd àrd aig meud gràin ghrafait, strì an aghaidh teòthachd àrd, neart àrd, call beag agus buannachdan eile, leithid: molltair toraidhean grafait sintered.Leis gu bheil feum air an uidheamachd grafait a thathas a’ cleachdadh anns a’ ghnìomhachas semiconductor (a’ toirt a-steach teasadairean agus am bàs sintered) gus seasamh ri pròiseasan teasachaidh is fuarachaidh a-rithist, gus beatha seirbheis uidheamachd grafait a leudachadh, mar as trice feumar coileanadh seasmhach a bhith aig na stuthan grafait a thathar a’ cleachdadh. agus gnìomh buaidh teas-dhìonach.
01 Goireasan graphite airson fàs criostal semiconductor
Tha a h-uile pròiseas a thathas a’ cleachdadh airson criostalan semiconductor fhàs ag obair fo teòthachd àrd agus àrainneachd creimneach. Mar as trice bidh an raon teth de fhùirneis fàs criostal air a uidheamachadh le co-phàirtean grafait àrd-ghlan a tha an aghaidh teas agus an aghaidh creimeadh, leithid teasadair, crucible, siolandair insulation, siolandair treòrachaidh, dealan, neach-gleidhidh crucible, cnò electrode, msaa.
Is urrainn dhuinn a h-uile pàirt grafait de inneal cinneasachaidh criostail a dhèanamh, a dh’ fhaodar a thoirt seachad leotha fhèin no ann an seataichean, no pàirtean grafait gnàthaichte de dhiofar mheudan a rèir riatanasan teachdaiche. Faodar meud thoraidhean a thomhas air an làrach, agus faodaidh susbaint luaithre thoraidhean crìochnaichte a bhith nas lughana 5ppm.
02 Goireasan graphite airson epitaxy semiconductor
Tha pròiseas epitaxial a’ toirt iomradh air fàs còmhdach de stuth criostail singilte leis an aon rèiteachadh lattice ris an t-substrate air an t-substrate criostail singilte. Anns a 'phròiseas epitaxial, tha an wafer air a luchdachadh air a' chlàr grafait. Tha àite deatamach aig coileanadh agus càileachd diosc grafait ann an càileachd còmhdach epitaxial an wafer. Ann an raon cinneasachadh epitaxial, tha feum air tòrr grafait fìor-ghlan agus bunait grafait fìor-ghlan le còmhdach SIC.
Tha raon farsaing de thagraidhean aig bunait grafait a ’chompanaidh againn airson epitaxy semiconductor, faodaidh e a bhith co-ionnan ris a’ mhòr-chuid den uidheamachd a thathas a ’cleachdadh gu cumanta sa ghnìomhachas, agus tha fìor ghlanachd, còmhdach èideadh, beatha seirbheis sàr-mhath, agus neart ceimigeach àrd agus seasmhachd teirmeach.
03 Goireasan graphite airson cuir a-steach ian
Tha implantachadh ian a ’toirt iomradh air a’ phròiseas airson a bhith a ’luathachadh beam plasma boron, fosfar agus arsenic gu lùth sònraichte, agus an uairsin ga stealladh a-steach do chòmhdach uachdar an stuth wafer gus feartan stuthan an còmhdach uachdar atharrachadh. Bidh na pàirtean den inneal cuir a-steach ian air an dèanamh de stuthan fìor-ghlan le neart teas sàr-mhath, giùlan teirmeach, nas lugha de chreachadh air adhbhrachadh le giùlan ian agus susbaint ìosal truailleadh. Bidh grafait fìor-ghlan a’ coinneachadh ri riatanasan an tagraidh, agus faodar a chleachdadh airson an tiùb itealaich, diofar slits, electrodan, còmhdach electrode, cladhan, inneal-crìochnachaidh beam, msaa de uidheamachd cuir a-steach ian.
Chan urrainn dhuinn a-mhàin còmhdach dìon grafait a thoirt seachad airson diofar innealan cuir a-steach ian, ach cuideachd dealanan grafait àrd-ghlan agus stòran ian a thoirt seachad le neart àrd meirg de dhiofar shònrachaidhean. Modalan iomchaidh: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM agus uidheamachd eile. A bharrachd air an sin, is urrainn dhuinn cuideachd toraidhean ceirmeag, tungsten, molybdenum, alùmanum agus pàirtean còmhdaichte a thoirt seachad.
04 Stuthan insulation graphite agus feadhainn eile
Tha stuthan insulation teirmeach a thathas a’ cleachdadh ann an uidheamachd cinneasachaidh semiconductor a’ toirt a-steach faireachdainn cruaidh grafait, faireachdainn bog, foil grafait, pàipear grafait, agus ròp grafait.
Tha na stuthan amh againn uile air an toirt a-steach grafait, a dh'fhaodar a ghearradh a rèir meud sònraichte riatanasan luchd-ceannach no a reic gu h-iomlan.
Tha an treidhe gualain-carbon air a chleachdadh mar an neach-giùlain airson còmhdach film ann am pròiseas cinneasachaidh ceallan silicon monocrystalline grèine agus polycrystalline silicon. Is e am prionnsapal obrach: cuir a-steach a’ chip silicon a-steach don treidhe CFC agus cuir a-steach e don phìob fhùirneis gus an còmhdach film a phròiseasadh.
