Tacaíocht PECVD Graphite Wafer

Íomhá Réadmhaoin Tacaíochta Wafer Graphite PECVD

Cur síos gairid:

Deartha le haghaidh cruinneas agus feidhmíochta, is é Tacaíocht Graphite Wafer VET Energy an t-ábhar idéalach le húsáid i bpróiseáil chun cinn wafer, áit a bhfuil cobhsaíocht theirmeach ard agus feidhmíocht chomhsheasmhach ríthábhachtach. Cibé an bhfuil tú ag obair le sliseog leathsheoltóra nó le foshraitheanna íogair eile, feabhsóidh an tacaíocht graifíte ardcháilíochta seo d'iontaofacht próisis agus cáilíocht an táirge, rud a fhágann go mbeidh sé ina chomhpháirt fíor-riachtanach do mhonarú nua-aimseartha.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Próiseas VET Energy PECVD Is croí-inchaite é tacaíocht sliseog graifíte atá deartha le haghaidh próiseas PECVD (taiscí gaile ceimiceach feabhsaithe plasma). Tá an táirge seo déanta as ábhar graifít ard-íonachta, ard-dlúis, le friotaíocht ardteochta den scoth, friotaíocht creimeadh, cobhsaíocht tríthoiseach agus tréithe eile, is féidir ardán tacaíochta cobhsaí a sholáthar do phróiseas PECVD, chun aonfhoirmeacht agus Maoile an taiscthe scannáin a chinntiú.

Ní féidir leis an dearadh "tacaíocht graifíte" de thacaíocht wafer grafite VET Energy tacaíocht éifeachtach a thabhairt don wafer, ach freisin cobhsaíocht theirmeach a sholáthar i dtimpeallacht ardteochta agus ardbhrú PECVD chun cobhsaíocht an phróisis a chinntiú.

Tá na tréithe seo a leanas ag tacaíocht wafer grafite próiseas VET Energy PECVD:

▪Ard-íonacht:ábhar eisíontais thar a bheith íseal, éilliú an scannáin a sheachaint, chun cáilíocht an scannáin a chinntiú.

▪Ard-dlús:Is féidir le dlús ard, neart meicniúil ard, teocht ard agus timpeallacht PECVD ardbhrú a sheasamh.

▪Cobhsaíocht mhaith tríthoiseach:athruithe beaga tríthoiseach ag teocht ard chun cobhsaíocht an phróisis a chinntiú.

▪Seoltacht teirmeach den scoth:teas a aistriú go héifeachtach chun róthéamh wafer a chosc.

▪Frithsheasmhacht creimeadh láidir:In ann seasamh in aghaidh creimeadh ag gás creimneach éagsúla agus plasma.

▪Seirbhís saincheaptha:Is féidir táblaí tacaíochta grafite de mhéideanna agus cruthanna éagsúla a shaincheapadh de réir riachtanais an chustaiméara.

Ábhar graifíte ó SGL:

Paraiméadar tipiciúil: R6510
Innéacs	Caighdeán tástála	Luach	Aonad
Meánmhéid gráin	ISO 13320	10	μm
Dlús mórchóir	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oscailt porosity	Din66133	10	%
Méid pore meánach	Din66133	1.8	μm
Tréscaoilteacht	DIN 51935	0. 06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Friotaíocht leictreach ar leith	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart comhbhrúiteach	DIN 51910	130	MPa
Modal Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Leathnú teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltacht theirmeach (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tá sé deartha go sonrach le haghaidh déantúsaíochta cealla gréine ard-éifeachtúlachta, ag tacú le próiseáil wafer mór-mhéid G12. Méadaíonn dearadh iompróra optamaithe go mór tréchur, rud a fhágann go bhfuil rátaí toraidh níos airde agus costais táirgthe níos ísle ar fáil.

Mír	Cineál	Iompróir wafer uimhreacha
Bád grephite PEVCD - An 156 sraith	156-13 bád grephite	144
	156-19 bád grephite	216
	156-21 bád grephite	240
	156-23 bád grafite	308
Bád grephite PEVCD - An 125 sraith	125-15 bád grephite	196
	125-19 bád grephite	252
	125-21 grphite bád	280