Is teicneolaíocht próisis é Dual-Damascene a úsáidtear chun idirnaisc miotail a mhonarú i gciorcaid chomhtháite. Is forbairt bhreise é ar phróiseas na Damaisc. Trí phoill agus grooves a fhoirmiú ag an am céanna sa chéim phróiseas céanna agus iad a líonadh le miotail, déantar déantúsaíocht chomhtháite idirnasc miotail a bhaint amach.
Cén fáth a dtugtar Damaisc air?
Is í cathair na Damaisc príomhchathair na Siria, agus tá cáil ar claimhte Damaisc mar gheall ar a géire agus a n-uigeacht fíorálainn. Tá gá le cineál próiseas inleagtha: ar dtús, tá an patrún riachtanach greanta ar dhromchla cruach na Damaisc, agus tá na hábhair réamhullmhaithe inleagtha go docht isteach sna grooves greanta. Tar éis an inlay a bheith críochnaithe, féadfaidh an dromchla a bheith beagán míchothrom. Déanfaidh an ceardaí snas go cúramach é chun an réidh iomlán a chinntiú. Agus is é an próiseas seo an fhréamhshamhail de phróiseas dé-Damascus an sliseanna. Gcéad dul síos, tá grooves nó poill greanta sa chiseal tréleictreach, agus ansin líontar miotail iontu. Tar éis a líonadh, bainfear an bhreis miotail le cmp.
I measc na bpríomhchéimeanna den phróiseas dé-damascene tá:
▪ sil-leagan ciseal tréleictreach:
Taisce ciseal ábhar tréleictreach, mar shampla dé-ocsaíd sileacain (SiO2), ar an leathsheoltóirsliseag.
▪ Fótalitagrafaíocht chun an patrún a shainiú:
Úsáid fótalitagrafaíocht chun patrún na vias agus na trinsí ar an gciseal tréleictreach a shainiú.
▪Eitseáil:
Aistrigh patrún na vias agus na trinsí chuig an gciseal tréleictreach trí phróiseas eitseála tirim nó fliuch.
▪ Soilsiú miotail:
Taisce miotail, mar shampla copar (Cu) nó alúmanam (Al), i vias agus trinsí chun idirnasc miotail a fhoirmiú.
▪ Snasú meicniúil ceimiceach:
Snasú meicniúil ceimiceach ar an dromchla miotail chun barraíocht miotail a bhaint agus an dromchla a leacú.
I gcomparáid leis an bpróiseas déantúsaíochta traidisiúnta idirnasctha miotail, tá na buntáistí seo a leanas ag an bpróiseas dé-damascene:
▪ Céimeanna próiseas simplithe:trí vias agus trinsí a fhoirmiú go comhuaineach sa chéim phróiseas céanna, laghdaítear na céimeanna próiseas agus an t-am déantúsaíochta.
▪ Éifeachtúlacht déantúsaíochta feabhsaithe:mar gheall ar laghdú céimeanna próiseas, is féidir leis an bpróiseas dé-damascene feabhas a chur ar éifeachtúlacht déantúsaíochta agus costais táirgthe a laghdú.
▪Feabhas a chur ar fheidhmíocht idirnasc miotail:is féidir leis an bpróiseas dé-damascene idirnaisc miotail níos cúinge a bhaint amach, rud a fheabhsóidh comhtháthú agus feidhmíocht na gciorcad.
▪ Laghdaigh toilleas agus friotaíocht seadánacha:trí úsáid a bhaint as ábhair thréleictreach íseal-k agus leas iomlán a bhaint as struchtúr idirnasc miotail, is féidir toilleas agus friotaíocht seadánacha a laghdú, feabhas a chur ar fheidhmíocht luas agus tomhaltas cumhachta na gciorcad.
Am postála: Nov-25-2024