Cad é an difríocht idir PECVD agus LPCVD i dtrealamh CVD leathsheoltóra?

sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) tagraíonn sé don phróiseas a bhaineann le scannán soladach a thaisceadh ar dhromchla sileacainsliseagtrí imoibriú ceimiceach de mheascán gáis. De réir na gcoinníollacha imoibrithe éagsúla (brú, réamhtheachtaí), is féidir é a roinnt ina mhúnlaí trealaimh éagsúla.

Cad iad na próisis lena n-úsáidtear an dá fheiste seo?

PECVD(Feabhsaithe Plasma) an trealamh is iomadúla agus is coitianta a úsáidtear, a úsáidtear i OX, Nítride, geata miotail, carbóin éagruthach, srl .; Úsáidtear LPCVD (Cumhacht Íseal) de ghnáth i Nitride, poly, TEOS.
Cad é an prionsabal?
PECVD - próiseas a chomhcheanglaíonn fuinneamh plasma agus CVD go foirfe. Úsáideann teicneolaíocht PECVD plasma íseal-teocht chun scaoileadh glow a spreagadh ag catóide an tseomra próisis (ie, tráidire samplach) faoi bhrú íseal. Is féidir leis an urscaoileadh glow seo nó feiste téimh eile teocht an tsampla a ardú go leibhéal réamhshocraithe, agus ansin méid rialaithe gáis próisis a thabhairt isteach. Téann an gás seo faoi shraith imoibrithe ceimiceacha agus plasma, agus ar deireadh foirmíonn sé scannán soladach ar dhromchla an tsampla.

LPCVD - Tá taisce gaile ceimiceach íseal-bhrú (LPCVD) deartha chun brú oibriúcháin an gháis imoibrithe san imoibreoir a laghdú go dtí thart ar 133Pa nó níos lú.

Cad iad tréithe gach ceann acu?

PECVD - Próiseas a chomhcheanglaíonn fuinneamh plasma agus CVD go foirfe: 1) Oibriú íseal-teocht (ag seachaint damáiste teocht ard don trealamh); 2) Fás scannán tapa; 3) Gan piocadh faoi ábhair, is féidir le OX, Nítride, geata miotail, carbóin éagruthach fás go léir; 4) Tá córas monatóireachta in-situ ann, a fhéadfaidh an t-oideas a choigeartú trí pharaiméadair ian, ráta sreabhadh gáis, teocht agus tiús scannáin.
LPCVD - Beidh clúdach céim níos fearr ag scannáin tanaí arna dtaisceadh ag LPCVD, dea-chomhdhéanamh agus rialú struchtúir, ráta ard taisce agus aschuir. Ina theannta sin, ní gá gás iompróra a bheith ag LPCVD, agus mar sin laghdaíonn sé go mór foinse truaillithe na gcáithníní agus úsáidtear go forleathan é i dtionscail leathsheoltóra ard-bhreisluacha le haghaidh taisceadh scannáin tanaí.

 

Fáilte roimh chustaiméirí ar bith ó gach cearn den domhan chun cuairt a thabhairt orainn le haghaidh tuilleadh plé!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/