Is é an foirnéis fás criostail an trealamh lárnach le haghaidhchomhdhúile sileacainfás criostail. Tá sé cosúil leis an bhfoirnéis fás criostail sileacain grád sileacain traidisiúnta. Níl an struchtúr foirnéise an-chasta. Tá sé comhdhéanta den chuid is mó de chomhlacht foirnéise, córas téimh, meicníocht tarchurtha corn, córas fála agus tomhais i bhfolús, córas cosán gáis, córas fuaraithe, córas rialaithe, etc. Cinneann an réimse teirmeach agus na coinníollacha próisis na príomhtháscairí.criostail chomhdhúile sileacaincosúil le cáilíocht, méid, seoltacht agus mar sin de.
Ar thaobh amháin, an teocht le linn an fháiscriostail chomhdhúile sileacainan-ard agus ní féidir monatóireacht a dhéanamh air. Mar sin, luíonn an deacracht is mó sa phróiseas féin. Is iad seo a leanas na príomhdheacrachtaí:
(1) Deacracht i rialú réimse teirmeach:
Tá monatóireacht a dhéanamh ar an gcuas ardteochta dúnta deacair agus neamhrialaithe. Difriúil ón trealamh fáis criostail réiteach traidisiúnta bunaithe ar sileacain le leibhéal ard uathoibrithe agus próiseas fáis criostail inbhraite agus inrialaithe, fásann criostail chomhdhúile sileacain i spás dúnta i dtimpeallacht ardteochta os cionn 2,000 ℃, agus an teocht fáis ní mór é a rialú go beacht le linn táirgeadh, rud a fhágann go bhfuil rialú teochta deacair;
(2) Deacracht i rialú foirm criostail:
Is dóichí go dtarlóidh micripíopaí, cuimsiú polymorphic, dislocations agus lochtanna eile le linn an phróisis fáis, agus cuireann siad isteach ar a chéile agus forbraíonn siad. Is éard is micrea-phíopaí (MP) ann trí-lochtanna a bhfuil méid roinnt miocrón acu go dtí na deich miocrón, ar lochtanna iad ar fheistí. I measc criostail aonair chomhdhúile sileacain tá níos mó ná 200 foirm criostail éagsúla, ach níl ach cúpla struchtúr criostail (cineál 4H) na hábhair leathsheoltóra atá ag teastáil le haghaidh táirgeadh. Is furasta claochlú foirm criostail a tharlaíonn le linn an phróisis fáis, rud a fhágann go bhfuil lochtanna cuimsithe polymorphic ann. Dá bhrí sin, is gá paraiméadair a rialú go cruinn mar chóimheas sileacain-charbóin, grádán teocht fáis, ráta fáis criostail, agus brú sreafa aeir. Ina theannta sin, tá grádán teochta i réimse teirmeach fás criostail aonair chomhdhúile sileacain, rud a fhágann go bhfuil strus inmheánach dúchasach agus na dislocations mar thoradh air (dislocation eitleáin basal BPD, dislocation scriú TSD, dislocation imeall TED) le linn an phróisis fáis criostail, dá bhrí sin. a dhéanann difear do cháilíocht agus feidhmíocht epitaxy agus feistí ina dhiaidh sin.
(3) Rialú dópála deacair:
Ní mór tabhairt isteach neamhíonachtaí seachtracha a rialú go docht chun criostail seoltaí a fháil le dópáil treorach;
(4) Ráta fáis mall:
Tá an ráta fáis de chomhdhúile sileacain an-mhall. Ní mór ábhair sileacain traidisiúnta ach 3 lá chun fás i slat criostail, agus ní mór slata criostail chomhdhúile sileacain 7 lá. Mar thoradh air seo tá éifeachtacht táirgthe chomhdhúile sileacain níos ísle go nádúrtha agus aschur an-teoranta.
Ar an láimh eile, tá paraiméadair an fháis epitaxial chomhdhúile sileacain an-éilitheach, lena n-áirítear aer-dightness an trealaimh, cobhsaíocht an bhrú gáis sa seomra imoibrithe, rialú beacht ar an am a thabhairt isteach gáis, cruinneas an gháis. cóimheas, agus bainistíocht dhian ar an teocht taisce. Go háirithe, le feabhas a chur ar leibhéal friotaíochta voltais an fheiste, tá méadú suntasach tagtha ar an deacracht a bhaineann le paraiméadair lárnacha an wafer epitaxial a rialú. Ina theannta sin, leis an méadú ar thiús an chiseal epitaxial, conas aonfhoirmeacht an fhriotaíochta a rialú agus an dlús locht a laghdú agus an tiús a chinntiú tar éis éirí ina dhúshlán mór eile. Sa chóras rialaithe leictrithe, is gá braiteoirí agus actuators ardchruinneas a chomhtháthú chun a chinntiú go bhféadfar paraiméadair éagsúla a rialú go cruinn agus go cobhsaí. Ag an am céanna, tá sé ríthábhachtach freisin leas iomlán a bhaint as an algartam rialaithe. Caithfidh sé a bheith in ann an straitéis rialaithe a choigeartú i bhfíor-am de réir an chomhartha aiseolais chun oiriúnú d'athruithe éagsúla sa phróiseas fáis epitaxial chomhdhúile sileacain.
Príomhdheacrachtaí itsubstráit chomhdhúile sileacaindéantúsaíocht:
Am postála: Jun-07-2024