Is gléas é foirnéis criostail aonair a úsáideann atéitheoir graifítchun ábhair sileacain polycrystalline a leá i dtimpeallacht gáis támha (argón) agus úsáideann an modh Czochralski chun criostail aonair neamh-dhíshuite a fhás. Tá sé comhdhéanta go príomha de na córais seo a leanas:
Córas tarchurtha meicniúil
Is é an córas tarchurtha meicniúil córas oibriúcháin bhunúsach na foirnéise criostail aonair, atá freagrach go príomha as rialú a dhéanamh ar ghluaiseacht criostail agusbreogáin, lena n-áirítear ardú agus rothlú na gcriostail síl agus ardú agus rothlúbreogáin. Féadann sé paraiméadair a choigeartú go cruinn, mar shampla suíomh, luas agus uillinn uainíochta criostail agus breogáin chun dul chun cinn rianúil an phróisis fáis criostail a chinntiú. Mar shampla, i gcéimeanna fáis criostail éagsúla cosúil le síolú, muineál, gualainn, fás trastomhas comhionann agus fuíll, ní mór gluaiseacht criostail síl agus breogáin a rialú go cruinn ag an gcóras seo chun freastal ar riachtanais phróiseas fáis criostail.
Córas rialaithe teochta téimh
Is é seo ceann de na córais lárnacha den fhoirnéis criostail aonair, a úsáidtear chun teas a ghiniúint agus an teocht sa foirnéis a rialú go cruinn. Tá sé comhdhéanta go príomha de chomhpháirteanna cosúil le téitheoirí, braiteoirí teochta, agus rialtóirí teochta. De ghnáth déantar an téitheoir as ábhair cosúil le graifít ard-íonachta. Tar éis an sruth ailtéarnach a chlaochlú agus a laghdú chun an sruth a mhéadú, gineann an téitheoir teas chun ábhair ilchriostalacha mar polysilicon a leá sa bhreogán. Déanann an braiteoir teochta monatóireacht ar athruithe teochta na foirnéise i bhfíor-am agus tarchuireann sé an comhartha teochta chuig an rialtóir teochta. Rialaíonn an rialtóir teochta an chumhacht téimh go cruinn de réir na bparaiméadar teochta atá leagtha síos agus an comhartha teocht aiseolais, rud a chothaíonn cobhsaíocht an teocht san fhoirnéis agus timpeallacht teocht oiriúnach a sholáthar le haghaidh fás criostail.
Córas folúis
Is é príomhfheidhm an chórais bhfolús ná timpeallacht folúis a chruthú agus a chothabháil sa foirnéis le linn an phróisis fáis criostail. Baintear na gáis aeir agus eisíontais san fhoirnéis trí chaidéil folúis agus trealamh eile chun an brú gáis san fhoirnéis a bhaint amach ar leibhéal an-íseal, go ginearálta faoi bhun 5TOR (torr). Féadann sé seo an t-ábhar sileacain a chosc ó ocsaídiú ag teochtaí arda agus íonacht agus cáilíocht an fháis criostail a chinntiú. Ag an am céanna, tá an timpeallacht folúis a chabhródh freisin chun neamhíonachtaí so-ghalaithe a ghintear le linn an phróisis fáis criostail a bhaint agus feabhas a chur ar chaighdeán na criostail.
Córas Argón
Tá ról ag an gcóras argóin maidir leis an mbrú san fhoirnéis sa foirnéis criostail aonair a chosaint agus a rialáil. Tar éis an fholúsúcháin, déantar gás argón ard-íonachta (ní mór an íonacht a bheith os cionn 6 9) a líonadh isteach san fhoirnéis. Ar thaobh amháin, is féidir leis an aer lasmuigh a chosc ó dhul isteach sa foirnéis agus cosc a chur ar ábhair sileacain ó ocsaídiú; ar an láimh eile, is féidir le líonadh gás argón an brú sa foirnéis a choinneáil cobhsaí agus timpeallacht brú oiriúnach a sholáthar d'fhás criostail. Ina theannta sin, is féidir le sreabhadh gáis argón an teas a ghintear le linn an phróisis fáis criostail a bhaint freisin, ag imirt ról fuaraithe áirithe.
Córas fuaraithe uisce
Is é feidhm an chórais fuaraithe uisce ná na comhpháirteanna ardteochta éagsúla den fhoirnéis criostail aonair a fhuarú chun gnáthoibriú agus saol seirbhíse an trealaimh a chinntiú. Le linn oibriú na foirnéise criostail aonair, an téitheoir,breogán, ginfidh leictreoid agus comhpháirteanna eile go leor teasa. Mura ndéantar iad a fhuaraithe in am, beidh an trealamh róthéamh, dífhoirmithe nó fiú déanfar damáiste dó. Tógann an córas fuaraithe uisce teas na gcomhpháirteanna seo trí uisce fuaraithe a scaipeadh chun teocht an trealaimh a choinneáil laistigh de raon sábháilte. Ag an am céanna, is féidir leis an gcóras fuaraithe uisce cabhrú freisin chun an teocht sa foirnéis a choigeartú chun cruinneas rialaithe teochta a fheabhsú.
Córas rialaithe leictreach
Is é an córas rialaithe leictreach “inchinn” na foirnéise criostail aonair, atá freagrach as monatóireacht agus rialú a dhéanamh ar oibriú an trealaimh iomláin. Is féidir leis comharthaí a fháil ó bhraiteoirí éagsúla, mar shampla braiteoirí teochta, braiteoirí brú, braiteoirí suímh, etc., agus an córas tarchurtha meicniúil, córas rialaithe teochta téimh, córas bhfolús, córas Argón agus córas fuaraithe uisce a chomhordú agus a rialú bunaithe ar na comharthaí seo. Mar shampla, le linn an phróisis fáis criostail, is féidir leis an gcóras rialaithe leictreach an chumhacht téimh a choigeartú go huathoibríoch de réir an chomhartha teochta a chothaíonn an braiteoir teochta; de réir fás na criostail, is féidir leis luas gluaiseachta agus uillinn uainíochta an chriostail síl agus an breogán a rialú. Ag an am céanna, tá diagnóis locht agus feidhmeanna aláraim ag an gcóras rialaithe leictreach freisin, ar féidir leo coinníollacha neamhghnácha an trealaimh a bhrath in am agus oibriú sábháilte an trealaimh a chinntiú.
Am postála: Meán Fómhair-23-2024