Tá comhpháirteanna grafite ard-íonachta ríthábhachtach chunpróisis sa tionscal leathsheoltóra, LED agus gréine. Réimsíonn ár dtairiscint ó ábhair inchaite graifíte do chriosanna te fáis criostail (téitheoirí, susceptors breogán, insliú), go comhpháirteanna graifíte ardchruinneas do threalamh próiseála sliseog, mar susceptóirí graifíte atá brataithe le cairbíd sileacain le haghaidh Epitaxy nó MOCVD. Seo an áit a dtagann ár ngraifít speisialtachta i bhfeidhm: tá graifít iseastatach bunúsach chun sraitheanna leathsheoltóra cumaisc a tháirgeadh. Gintear iad seo sa “chrios te” faoi theocht foircneacha le linn an phróisis epitaxy, nó MOCVD, mar a thugtar air. Is éard atá san iompróir rothlach ar a bhfuil na sliseog brataithe san imoibreoir, ná graifít isostatach atá brataithe le carbide sileacain. Ní chomhlíonann ach an graifít aonchineálach an-íon seo na ceanglais ard sa phróiseas sciath.
Tis é bunphrionsabal fáis wafer epitaxial LED é: ar fhoshraith (go príomha sapphire, SiC agus Si) a théitear go teocht chuí, déantar an t-ábhar gásach InGaAlP a iompar go dromchla an tsubstráit ar bhealach rialaithe chun scannán criostail aonair ar leith a fhás. Faoi láthair, glacann teicneolaíocht fáis wafer epitaxial LED go príomha le taisceadh gaile ceimiceach miotail orgánach.
Ábhar substráit epitaxial stiúirIs é an bhunchloch d'fhorbairt theicneolaíoch an tionscail soilsithe leathsheoltóra. Tá gá le teicneolaíocht fáis wafer epitaxial LED éagsúla, teicneolaíocht próiseála sliseanna agus teicneolaíocht pacáistithe gléasanna ag ábhair fhoshraitheanna éagsúla. Cinneann ábhair fhoshraitheanna bealach forbartha na teicneolaíochta soilsithe leathsheoltóra.
Saintréithe roghnú ábhar substráit wafer epitaxial LED:
1. Tá an struchtúr criostail céanna nó den chineál céanna ag an ábhar epitaxial leis an tsubstráit, neamhréireacht leanúnach laitíse beag, criostalacht maith agus dlús íseal locht
2. Saintréithe comhéadan maith, a chabhródh le núicléasú ábhair epitaxial agus greamaitheacht láidir
3. Tá cobhsaíocht mhaith ceimiceach aige agus níl sé éasca a dhianscaoileadh agus a chreimeadh i dteocht agus atmaisféar an fháis epitaxial
4. Feidhmíocht theirmeach maith, lena n-áirítear seoltacht theirmeach maith agus neamhréir teirmeach íseal
5. Is féidir seoltacht mhaith a dhéanamh i struchtúr uachtarach agus íochtair 6, feidhmíocht optúil maith, agus is lú an tsubstráit an solas a astaítear leis an bhfeiste fabraice.
7. Airíonna meicniúla maith agus próiseáil éasca ar fheistí, lena n-áirítear tanú, snasú agus gearradh
8. Praghas íseal.
9. Méid mór. Go ginearálta, ní bheidh an trastomhas níos lú ná 2 orlach.
10. Tá sé éasca foshraith cruth rialta a fháil (mura bhfuil ceanglais speisialta eile ann), agus níl cruth an tsubstráit cosúil le poll tráidire an trealaimh epitaxial éasca le sruth eddy neamhrialta a fhoirmiú, ionas go mbeidh tionchar aige ar cháilíocht epitaxial.
11. Ar an mbonn nach ndéanfaidh sé difear do cháilíocht epitaxial, comhlíonfaidh machinability an tsubstráit ceanglais próiseála sliseanna agus pacáistithe ina dhiaidh sin a mhéid is féidir.
Tá sé an-deacair an tsubstráit a roghnú chun freastal ar na gnéithe déag thuas ag an am céanna. Dá bhrí sin, faoi láthair, ní féidir linn a oiriúnú ach le T & F agus táirgeadh feistí leathsheoltóra astaithe solais ar fhoshraitheanna éagsúla trí theicneolaíocht fáis epitaxial a athrú agus teicneolaíocht próiseála gléas a choigeartú. Tá go leor ábhar tsubstráit ann le haghaidh taighde nítríde gailliam, ach níl ach dhá fhoshraith ann is féidir a úsáid le haghaidh táirgeadh, eadhon sapphire Al2O3 agus carbide sileacainFoshraitheanna SiC.
Am poist: Feabhra-28-2022