Is féidir sciath SiC a ullmhú le sil-leagan ceimiceach gaile (CVD), claochlú réamhtheachtaithe, spraeáil plasma, etc. Tá an sciath ullmhaithe ag sil-leagan gaile CEIMICEACHA aonfhoirmeach agus dlúth, agus tá dea-incháilitheacht aige. Ag baint úsáide as meitile trichlosilan. (CHzSiCl3, MTS) mar fhoinse sileacain, ullmhaíonn sciath SiC...
Léigh níos mó