Nua-Aimseartha C, N, B agus ábhair eile neamh-ocsaíd teasfhulangacha ardteicneolaíochta, tá brú atmaisféarach chomhdhúile sileacain sintéaraithe fairsing, eacnamaíoch, is féidir a rá go bhfuil emery nó gaineamh teasfhulangacha. Is criostail trédhearcach gan dath é chomhdhúile sileacain íon. Mar sin, cad é struchtúr ábhartha agus tréithe chomhdhúile sileacain?
Comhdhúile sileacain sintéaraithe faoi bhrú an atmaisféir
Struchtúr ábhartha de chomhdhúile sileacain sintéaraithe faoi bhrú an atmaisféir:
Tá an chomhdhúile sileacain sintéaraithe brú atmaisféarach a úsáidtear i dtionscal buí éadrom, glas, gorm agus dubh de réir cineál agus ábhar na n-eisíontais, agus tá an íonacht difriúil agus tá an trédhearcacht difriúil. Tá an struchtúr criostail chomhdhúile sileacain roinnte ina sé-focal nó plútóiniam múnlaithe Diamond agus plútóiniam ciúbach-sic. Déanann plútóiniam-sic éagsúlacht dífhoirmithe mar gheall ar ord cruachta difriúil na n-adamh carbóin agus sileacain sa struchtúr criostail, agus fuarthas níos mó ná 70 cineál dífhoirmithe. athraíonn beta-SIC go alfa-SIC os cionn 2100. Tá an próiseas tionsclaíoch de chomhdhúile sileacain scagtha le gaineamh Grianchloch ardchaighdeáin agus cóc peitriliam i bhfoirnéis friotaíochta. Tá bloic chomhdhúile sileacain scagtha brúite, glanadh aigéad-bonn, scaradh maighnéadach, scagadh nó roghnú uisce chun éagsúlacht de tháirgí méid na gcáithníní a tháirgeadh.
Saintréithe ábhartha de chomhdhúile sileacain sintéaraithe faoi bhrú an atmaisféir:
Tá cobhsaíocht cheimiceach maith ag chomhdhúile sileacain, seoltacht theirmeach, comhéifeacht leathnú teirmeach, friotaíocht caitheamh, mar sin de bhreis ar úsáid scríobach, tá go leor úsáidí ann: Mar shampla, tá an púdar chomhdhúile sileacain brataithe ar bhalla istigh an impeller tuirbín nó bloc sorcóir le próiseas speisialta, is féidir leis an friotaíocht caitheamh a fheabhsú agus an saol a leathnú 1 go 2 uair. Déanta as teas-resistant, méid beag, meáchan éadrom, neart ard na n-ábhar teasfhulangacha ard-ghrád, tá éifeachtacht fuinnimh an-mhaith. Is díocsaídeoir den scoth é chomhdhúile sileacain íseal-ghrád (lena n-áirítear thart ar 85% SiC) chun luas déanta cruach a mhéadú agus comhdhéanamh ceimiceach a rialú go héasca chun cáilíocht cruach a fheabhsú. Ina theannta sin, úsáidtear chomhdhúile sileacain sintéaraithe brú an atmaisféir go forleathan freisin i ndéanamh páirteanna leictreacha de shlatanna carbóin sileacain.
Tá chomhdhúile sileacain an-chrua. Tá cruas Morse 9.5, sa dara háit ach le Diamond crua an domhain (10), is leathsheoltóir le seoltacht teirmeach den scoth é, is féidir leis an ocsaídiú a sheasamh ag teocht ard. Tá 70 cineál criostalach ar a laghad ag carbide sileacain. Is comh-isiméir é chomhdhúile plútóiniam-sileacain a fhoirmíonn ag teocht os cionn 2000 agus a bhfuil struchtúr criostalach heicseagánach aige (cosúil le wurtzite). Comhdhúile sileacain sintéaraithe faoi bhrú an atmaisféir
Cur i bhfeidhm chomhdhúile sileacain sa tionscal leathsheoltóra
Áirítear sa slabhra tionscal leathsheoltóra chomhdhúile sileacain go príomha púdar ard-íonachta chomhdhúile sileacain, tsubstráit criostail aonair, bileog epitaxial, comhpháirteanna cumhachta, pacáistiú modúil agus iarratais críochfoirt.
1. Foshraith criostail aonair Is ábhar tacaíochta leathsheoltóra, ábhar seoltaí agus foshraith fáis epitaxial é tsubstráit criostail aonair. Faoi láthair, cuimsíonn modhanna fáis criostail aonair SiC modh aistrithe gaile fisiceach (modh PVT), modh céim leachtach (modh LPE), agus modh taiscí gaile ceimiceach ardteocht (modh HTCVD). Comhdhúile sileacain sintéaraithe faoi bhrú an atmaisféir
2. Bileog epitaxial Bileog epitaxial chomhdhúile sileacain, bileog chomhdhúile sileacain, scannán criostail aonair (ciseal epitaxial) leis an treo céanna leis an tsubstráit criostail a bhfuil ceanglais áirithe aige maidir leis an tsubstráit chomhdhúile sileacain. In iarratais phraiticiúla, déantar feistí leathsheoltóra bearna banna leathan a mhonarú beagnach go léir sa chiseal epitaxial, agus ní úsáidtear an sliseanna sileacain féin ach mar an tsubstráit, lena n-áirítear an tsubstráit de chiseal epitaxial GaN.
3. Púdar chomhdhúile sileacain ard-íonachta Is é púdar chomhdhúile sileacain ard-íonachta an t-amhábhar le haghaidh fás criostail aonair chomhdhúile sileacain trí mhodh PVT, agus bíonn tionchar díreach ag íonacht an táirge ar cháilíocht fáis agus ar shaintréithe leictreacha chomhdhúile sileacain criostail aonair.
4. Tá an gléas cumhachta banna leathan cumhachta déanta as ábhar chomhdhúile sileacain, a bhfuil tréithe teocht ard, minicíocht ard agus éifeachtacht ard. De réir fhoirm oibriúcháin na feiste, cuimsíonn gléas soláthair cumhachta SiC den chuid is mó dé-óid chumhachta agus feadán lasc cumhachta.
5. Críochfort In iarratais leathsheoltóra tríú glúin, tá sé de bhuntáiste ag leathsheoltóirí chomhdhúile sileacain a bheith comhlántach le leathsheoltóirí nítríde gailliam. Mar gheall ar an éifeachtacht chomhshó ard, tréithe téimh íseal, meáchan éadrom agus buntáistí eile a bhaineann le feistí SiC, leanann éileamh an tionscail anuas ag méadú, agus tá treocht ann chun feistí SiO2 a athsholáthar.
Am postála: Meitheamh-16-2023