I. Taiscéalaíocht paraiméadar próisis
1. Córas TaCl5-C3H6-H2-Ar
2. Teocht taisce:
De réir na foirmle teirmidinimice, ríomhtar nuair a bhíonn an teocht níos mó ná 1273K, tá fuinneamh saor in aisce Gibbs an imoibrithe an-íseal agus tá an t-imoibriú sách iomlán. Tá an tairiseach imoibrithe KP an-mhór ag 1273K agus méadaíonn sé go tapa le teocht, agus mhoillíonn an ráta fáis de réir a chéile ag 1773K.
Tionchar a imirt ar mhoirfeolaíocht dromchla an sciath: Nuair nach bhfuil an teocht oiriúnach (ró-ard nó ró-íseal), cuireann an dromchla moirfeolaíocht carbóin saor in aisce nó pores scaoilte i láthair.
(1) Ag teocht ard, tá luas gluaiseachta na n-adamh nó na ngrúpaí imoibreora gníomhacha ró-tapa, rud a fhágann go mbeidh dáileadh míchothrom le linn carnadh na n-ábhar, agus ní féidir leis na limistéir saibhir agus bochta aistriú go réidh, rud a fhágann go mbeidh pores ann.
(2) Tá difríocht idir ráta imoibrithe pirealú na n-alcán agus an ráta imoibrithe laghdaithe peinteaclóiríd tantalam. Tá an carbón pirealaithe iomarcach agus ní féidir é a chomhcheangal le tantalam in am, rud a fhágann go bhfuil an dromchla fillte le carbóin.
Nuair a bhíonn an teocht cuí, dromchla anCumhdach TaCis dlúth.
TaCleá cáithníní agus comhiomlán lena chéile, tá an fhoirm criostail iomlán, agus aistríonn an teorainn gráin go réidh.
3. Cóimheas hidrigine:
Ina theannta sin, tá go leor fachtóirí ann a théann i bhfeidhm ar chaighdeán an bhrataithe:
-Cáilíocht dromchla an tsubstráit
-Deposition gás-réimse
-An leibhéal aonfhoirmeachta de mheascadh gáis imoibreáin
II. lochtanna tipiciúla desciath chomhdhúile tantalam
1. Craiceann sciath agus feannadh
Comhéifeacht leathnú teirmeach líneach CTE líneach:
2. Anailís locht:
(1) Cúis:
(2) Modh tréithrithe
① Úsáid teicneolaíocht díraonta X-gha chun an brú iarmharach a thomhas.
② Bain úsáid as dlí Hu Ke chun an strus iarmharach a chomhfhogasú.
(3) Foirmlí gaolmhara
3.Enhance comhoiriúnacht mheicniúil an sciath agus an tsubstráit
(1) Cumhdach fáis in-situ dromchla
Teistíocht imoibrithe teirmeach agus teicneolaíocht idirleathadh TRD
Próiseas salann leáite
An próiseas táirgthe a shimpliú
Laghdaigh an teocht imoibrithe
Costas réasúnta níos ísle
Níos cairdiúla don chomhshaol
Oiriúnach do tháirgeadh tionsclaíoch ar scála mór
(2) Sciath trasdula ilchodach
Próiseas comh-thaisce
CVDpróiseas
Sciath il-chomhpháirt
Na buntáistí a bhaineann le gach comhpháirt a chomhcheangal
Coigeartaigh go solúbtha comhdhéanamh agus comhréir na sciath
4. Teistíocht imoibrithe teirmeach agus teicneolaíocht idirleathadh TRD
(1) Meicníocht Imoibrithe
Tugtar próiseas leabaithe ar theicneolaíocht TRD freisin, a úsáideann córas carbide aigéad bórach-tantalum pentoxide-sóidiam fluairíd-bórón ocsaíd-bórón chun ullmhúsciath chomhdhúile tantalam.
① Díscaoileann aigéad bórach leáite pentoxide tantalam;
② Laghdaítear pentoxide tantalum go adaimh tantalam gníomhach agus idirleata ar dhromchla na graifíte;
③ Déantar adaimh tantalam gníomhacha a asaithe ar dhromchla na graifíte agus imoibríonn siad le hadaimh charbóin chun foirm a dhéanamhsciath chomhdhúile tantalam.
(2) Eochair Imoibrithe
Ní mór don chineál sciath chomhdhúile an ceanglas a shásamh go bhfuil fuinneamh saor ó ocsaídiú na heiliminte atá ina chomhdhúile níos airde ná fuinneamh ocsaíd bhóróin.
Tá fuinneamh saor in aisce Gibbs an chomhdhúile íseal go leor (ar shlí eile, féadfar bórón nó bórón a fhoirmiú).
Is ocsaíd neodrach é pentoxide tantalum. I borax leáite ardteochta, féadann sé imoibriú leis an ocsaíd sóidiam láidir alcaileach chun tantalate sóidiam a fhoirmiú, rud a laghdóidh an teocht imoibrithe tosaigh.
Am postála: Nov-21-2024