Le linn an phróisis epitaxy chéim gal (VPE), is é ról an pedestal ná tacú leis an tsubstráit agus téamh aonfhoirmeach a chinntiú le linn an phróisis fáis. Tá cineálacha éagsúla pedestals oiriúnach le haghaidh coinníollacha fáis agus córais ábhair éagsúla. Seo a leanas cuid de na cineálacha pedestal a úsáidtear go coitianta i gcéim ghaileepitaxy:
Pedestal bairille
Úsáidtear pedestals bairille go coitianta i gcórais epitaxy céime gaile cothrománach nó claonta. Is féidir leo an tsubstráit a shealbhú agus ligean don ghás sreabhadh thar an tsubstráit, rud a chabhraíonn le fás epitaxial aonfhoirmeach a bhaint amach.
Pedestal cruth diosca (pedestal ingearach)
Tá pedestals cruth diosca oiriúnach do chórais epitaxy céim ghaile ingearach, ina gcuirtear an tsubstráit go hingearach. Cuidíonn an dearadh seo leis an limistéar teagmhála idir an tsubstráit agus an susceptor a laghdú, rud a laghdóidh caillteanas teasa agus éilliú féideartha.
Suceptor cothrománach
Ní bhíonn sochtóirí cothrománacha chomh coitianta i epitaxy chéim ghaile, ach féadfar iad a úsáid i roinnt córais fáis ar leith chun fás epitaxial a cheadú i dtreo cothrománach.
Suceptor imoibrithe epitaxial monolithic
Tá an susceptor imoibrithe epitaxial monolithic deartha le haghaidh substráit amháin, a fhéadfaidh rialú teochta níos cruinne agus aonrú teirmeach níos fearr a sholáthar, atá oiriúnach le haghaidh fás sraitheanna epitaxial ardteochta.
Fáilte chuig ár suíomh Gréasáin le haghaidh faisnéise agus comhairliúchán táirgí.
Ár suíomh Gréasáin: https://www.vet-china.com/
Am postála: Jul-30-2024