Spriocanna sputteringa úsáidtear go príomha sna tionscail leictreonaic agus faisnéise, mar shampla ciorcaid chomhtháite, stóráil faisnéise, taispeántais criostail leachtacha, cuimhní léasair, feistí rialaithe leictreonacha, etc. Is féidir iad a úsáid freisin i réimse na sciath gloine, chomh maith le caitheamh-resistant ábhair, friotaíocht ard-teocht creimeadh , táirgí maisiúcháin ard-deireadh agus tionscail eile.
Tá sputtering ar cheann de na príomh-theicnící chun ábhair scannáin tanaí a ullmhú.Úsáideann sé iain a ghintear trí fhoinsí ian chun dlús a chur agus a chomhiomlánú i bhfolús chun bíomaí ian fuinnimh ardluais a fhoirmiú, an dromchla soladach a thumadh, agus fuinneamh cinéiteach a mhalartú idir iain agus adamh dromchla soladach. Fágann na hadaimh ar an dromchla soladach an soladach agus déantar iad a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. Is é an soladach bombarded an t-amhábhar chun scannáin tanaí a thaisceadh trí sputtering, ar a dtugtar sputtering target. Úsáidtear cineálacha éagsúla ábhar scannáin tanaí sputtered go forleathan i gciorcaid chomhtháite leathsheoltóra, meáin taifeadta, taispeántais painéil chomhréidh agus bratuithe dromchla workpiece.
I measc na dtionscal iarratais go léir, tá na ceanglais cháilíochta is déine ag an tionscal leathsheoltóra maidir le scannáin sputtering sprioc. Úsáidtear spriocanna sputtering miotail ard-íonachta go príomha i ndéantúsaíocht wafer agus próisis pacáistithe chun cinn. Ag glacadh le déantúsaíocht sliseanna mar shampla, is féidir linn a fheiceáil, ó wafer sileacain go sliseanna, go gcaithfidh sé dul trí 7 bpróiseas táirgthe mór, eadhon idirleathadh (Próiseas Teirmeach), Fóta-liteagrafaíocht (Grianghraf-liteagrafaíocht), Etch (Etch), Ionchlannú ian (IonIonchlannú), Fás Scannán Thin (Taisce Tréleictreach), Snasú Meicniúil Ceimiceach (CMP), Miotalú (Miotalú) Freagraíonn na próisis ceann ar cheann. Úsáidtear an sprioc sputtering sa phróiseas "miotalúcháin". Déantar an sprioc a bhogadh le cáithníní ardfhuinnimh ag trealamh taiscí scannáin tanaí agus ansin cruthaítear ciseal miotail le feidhmeanna sonracha ar an wafer sileacain, mar shampla ciseal seoltaí, ciseal bacainn. Fan. Ós rud é go bhfuil éagsúlacht ag baint le próisis na leathsheoltóirí iomlána, beidh gá le roinnt cásanna ócáideacha chun a fhíorú go bhfuil an córas ann i gceart agus mar sin éilímid roinnt cineálacha ábhar caocha ag céimeanna áirithe den táirgeadh chun na héifeachtaí a dhearbhú.
Am postála: Jan-17-2022