Sealbhóir Wafer Foshraith Graifíte le haghaidh PECVD

Sealbhóir Wafer Foshraith Graifíte le haghaidh Íomhá Réadmhaoin PECVD

Cur síos gairid:

Déantar Sealbhóir Foshraitheanna Graifíte VET Energy a innealtóireacht chun ailíniú agus cobhsaíocht wafer a choinneáil ar feadh an phróisis PECVD, chun éilliú a chosc agus an baol damáiste a íoslaghdú. Soláthraíonn an Sealbhóir Wafer Grafite ardán slán, cothrom, ag cinntiú go bhfuil sliseog nochta go cothrom don plasma le haghaidh sil-leagan comhsheasmhach agus ardchaighdeáin. Leis an seoltacht teirmeach ard agus neart eisceachtúil, cuidíonn an sealbhóir seo le feabhas a chur ar éifeachtúlacht próiseas iomlán agus feidhmíocht táirge.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Is iompróir beachtais é Sealbhóir Wafer Foshraith Graifíte Fuinnimh VET atá deartha le haghaidh próiseas PECVD (Taisceadh Gaile Ceimiceach Feabhsaithe Plasma). Tá an Sealbhóir Foshraith Grafite seo ar ardchaighdeán déanta as ábhar graifít ard-íonachta, ard-dlúis, le friotaíocht ardteochta den scoth, friotaíocht creimeadh, cobhsaíocht tríthoiseach agus tréithe eile. Is féidir leis ardán tacaíochta cobhsaí a sholáthar do phróiseas PECVD agus aonfhoirmeacht agus maoile an taiscthe scannáin a chinntiú.

Tá na tréithe seo a leanas ag tábla tacaíochta wafer grafite próiseas VET Energy PECVD:

▪Ard-íonacht:ábhar eisíontais thar a bheith íseal, éilliú scannáin a sheachaint, cáilíocht scannáin a chinntiú.

▪Ard-dlús:Is féidir le dlús ard, neart meicniúil ard, teocht ard agus timpeallacht PECVD ardbhrú a sheasamh.

▪Cobhsaíocht mhaith tríthoiseach:athrú beag tríthoiseach ag teocht ard, ag cinntiú cobhsaíocht próiseas.

▪Seoltacht teirmeach den scoth:teas a aistriú go héifeachtach chun róthéamh wafer a chosc.

▪Frithsheasmhacht creimeadh láidir:is féidir leis cur i gcoinne creimeadh ag gás creimneach éagsúla agus plasma.

▪Seirbhís saincheaptha:is féidir táblaí tacaíochta graifíte de mhéideanna agus de chruthanna éagsúla a shaincheapadh de réir riachtanais an chustaiméara.

Buntáistí Táirge

▪Feabhas a chur ar cháilíocht scannáin:Cinntigh taisceadh scannán aonfhoirmeach agus feabhas a chur ar cháilíocht scannáin.

▪Leathnaigh saol an trealaimh:Friotaíocht creimeadh den scoth, saol seirbhíse trealaimh PECVD a leathnú.

▪Costais táirgthe a laghdú:Is féidir le tráidirí graifíte ardcháilíochta ráta scrapála a laghdú agus costais táirgthe a laghdú.

Ábhar graifíte ó SGL:

Paraiméadar tipiciúil: R6510
Innéacs	Caighdeán tástála	Luach	Aonad
Meánmhéid gráin	ISO 13320	10	μm
Dlús mórchóir	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oscailt porosity	Din66133	10	%
Méid pore meánach	Din66133	1.8	μm
Tréscaoilteacht	DIN 51935	0. 06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Friotaíocht leictreach ar leith	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart comhbhrúiteach	DIN 51910	130	MPa
Modal Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Leathnú teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltacht theirmeach (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tá sé deartha go sonrach le haghaidh déantúsaíochta cealla gréine ard-éifeachtúlachta, ag tacú le próiseáil wafer mór-mhéid G12. Méadaíonn dearadh iompróra optamaithe go mór tréchur, rud a fhágann go bhfuil rátaí toraidh níos airde agus costais táirgthe níos ísle ar fáil.

Mír	Cineál	Iompróir wafer uimhreacha
Bád grephite PEVCD - An 156 sraith	156-13 bád grephite	144
	156-19 bád grephite	216
	156-21 bád grephite	240
	156-23 bád grafite	308
Bád grephite PEVCD - An 125 sraith	125-15 bád grephite	196
	125-19 bád grephite	252
	125-21 grphite bád	280