Is ábhar substráit leathsheoltóra ardfheidhmíochta é VET Energy 12-orlach SOI wafer, a bhfuil an-fhabhrach air as a chuid airíonna leictreacha den scoth agus a struchtúr uathúil. Úsáideann VET Energy próisis déantúsaíochta sliseog SOI chun cinn chun a chinntiú go bhfuil sruth sceite fíor-íseal, ardluais agus friotaíocht radaíochta ag an sliseog, ag soláthar bonn láidir do do chiorcaid iomlánaithe ardfheidhmíochta.
Níl líne táirge VET Energy teoranta do sliseog SOI. Soláthraímid raon leathan ábhar substráit leathsheoltóra freisin, lena n-áirítear Si Wafer, SiC Substrate, SiN Substrate, Epi Wafer, etc., chomh maith le hábhair leathsheoltóra nua bandgap leathan cosúil le Gallium Oxide Ga2O3 agus AlN Wafer. Is féidir leis na táirgí seo freastal ar riachtanais iarratais na gcustaiméirí éagsúla i leictreonaic cumhachta, RF, braiteoirí agus réimsí eile.
Agus iad ag díriú ar shármhaitheas, úsáideann ár sliseog SOI ábhair ardleibhéil ar nós ocsaíd ghailliam Ga2O3, caiséid agus sliseog AlN chun iontaofacht agus éifeachtúlacht a chinntiú ag gach leibhéal oibríochta. Cuir muinín ar VET Energy chun réitigh cheannródaíocha a sholáthar a réitíonn an bealach le haghaidh dul chun cinn teicneolaíochta.
Bain leas as acmhainneacht do thionscadail le feidhmíocht níos fearr na sliseog SOI 12-orlach VET Energy. Treisiú do chumas nuálaíochta le sliseog a chuimsíonn cáilíocht, cruinneas agus nuálaíocht, ag leagan an bhunsraith le haghaidh rathúlachta i réimse dinimiciúil na teicneolaíochta leathsheoltóra. Roghnaigh VET Energy le haghaidh réitigh sliseog SOI préimhe a sháraíonn ionchais.
SONRAÍOCHTAÍ WAFERING
*n-Pm=n-cineál Pm-Grád,n-Ps=n-cineál Ps-Grád,Sl=Leath-linslithe
Mír | 8-Orlach | 6-Orlach | 4-Orlach | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD) - Luach Iomlán | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
Imeall Wafer | Beveling |
Críochnaigh DROMCHLA
*n-Pm=n-cineál Pm-Grád,n-Ps=n-cineál Ps-Grád,Sl=Leath-linslithe
Mír | 8-Orlach | 6-Orlach | 4-Orlach | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Críochnaigh Dromchla | Taobh dúbailte Polainnis Optúil, Si- Face CMP | ||||
Garbhacht Dromchla | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Sceallóga Imeall | Ceann ar bith Ceadaithe (fad agus leithead≥0.5mm) | ||||
fleasc | Ceann ar bith Ceadaithe | ||||
Scratches(Si-Face) | Qty.≤5, Carnach | Qty.≤5, Carnach | Qty.≤5, Carnach | ||
Scoilteanna | Ceann ar bith Ceadaithe | ||||
Eisiamh Imeall | 3mm |