Silicon Carbide Coated Wafer Susceptor Disc

Koarte beskriuwing:

VET Energy silisiumkarbid coated wafer susceptor disc is in hege-optreden produkt ûntworpen om te foarsjen konsekwinte en betroubere prestaasjes oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

Silicon Carbide Wafer Disc is in wichtige komponint brûkt yn ferskate semiconductor manufacturing prosessen. wy brûke ús patintearre technology om de silisiumkarbid feiliger skiif te meitsjen mei ekstreem hege suverens, goede coatinguniformiteit en in poerbêste servicelibben, lykas hege gemyske ferset en thermyske stabiliteitseigenskippen.

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC, TaC, pyrolytyske koalstof, glêzen koalstof, ensfh., Kin ferskate oanpaste dielen leverje foar semiconductor- en fotovoltaïske yndustry. Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Feigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700℃.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating
性质 / Eigenskip	典型数值 / Typyske Wearde
晶体结构 / Crystal Struktuer	FCC β faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Tichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Grain Grutte	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99,99995%
热容 / Heat Kapasiteit	640 j kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Jongens Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1