Gemyske dampdeposysje (CVD) ferwiist nei it proses fan it dellizzen fan in fêste film op it oerflak fan in silisiumwafeltroch in gemyske reaksje fan in gasmingsel. Neffens de ferskillende reaksjebetingsten (druk, foarrinner), kin it wurde ferdield yn ferskate apparatuermodellen.
Foar hokker prosessen wurde dizze twa apparaten brûkt?
PECVD(Plasma Enhanced) apparatuer is de meast tal en meast brûkte, brûkt yn OX, Nitride, metalen poarte, amorphous koalstof, etc .; LPCVD (Low Power) wurdt normaal brûkt yn Nitride, poly, TEOS.
Wat is it prinsipe?
PECVD-in proses dat perfekt kombinearret plasma enerzjy en CVD. PECVD technology brûkt lege-temperatuer plasma te induce glow ûntslach by de kathode fan it proses keamer (dat wol sizze, sample tray) ûnder lege druk. Dizze gloeiûntlading as in oar ferwaarmingsapparaat kin de temperatuer fan 'e stekproef ferheegje nei in foarbeskaaide nivo, en dan in kontroleare hoemannichte prosesgas ynfiere. Dit gas ûndergiet in rige fan gemyske en plasma reaksjes, en úteinlik foarmet in fêste film op it oerflak fan it stekproef.
LPCVD - Low-pressure gemyske dampdeposition (LPCVD) is ûntworpen om de wurkdruk fan it reaksjegas yn 'e reaktor te ferminderjen nei sawat 133Pa of minder.
Wat binne de skaaimerken fan elk?
PECVD - In proses dat perfekt kombinearret plasma enerzjy en CVD: 1) Low-temperatuer operaasje (foarkomme hege temperatuer skea oan de apparatuer); 2) Fast film groei; 3) Net kieskeurig oer materialen, OX, Nitride, metalen poarte, amorphous koalstof kin allegear groeie; 4) Der is in in-situ tafersjochsysteem, dat kin oanpasse it resept troch ion parameters, gas flow rate, temperatuer en film dikte.
LPCVD - Tinne films dellein troch LPCVD sille hawwe bettere stap dekking, goede gearstalling en struktuer kontrôle, hege deposition rate en útfier. Derneist hat LPCVD gjin dragergas nedich, sadat it de boarne fan dieltsjefersmoarging sterk fermindert en wurdt in protte brûkt yn heale-tafoege-yndustry foar tinne filmdeposysje.
Wolkom alle klanten fan oer de hiele wrâld om ús te besykjen foar in fierdere diskusje!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Post tiid: Jul-24-2024