Photolitography technology rjochtet him benammen op it brûken fan optyske systemen te bleatstelle circuit patroanen op silisium wafers. De krektens fan dit proses hat direkt ynfloed op de prestaasjes en opbringst fan yntegreare circuits. As ien fan 'e topapparatuer foar chipfabryk, befettet de litografysmasine oant hûnderttûzenen komponinten. Sawol de optyske komponinten as komponinten binnen it litografysysteem fereaskje ekstreem hege presyzje om circuitprestaasjes en krektens te garandearjen.SiC keramykbinne brûkt ynwafer chucksen keramyske fjouwerkante spegels.
Wafer chuckDe wafel chuck yn 'e litografyske masine draacht en beweecht de wafel tidens it eksposysjeproses. Krekte ôfstimming tusken de wafel en de chuck is essensjeel foar it sekuer replikearjen fan it patroan op it oerflak fan 'e wafel.SiC waferchucks binne bekend om harren lichtgewicht, hege dimensionale stabiliteit en lege termyske útwreiding koëffisjint, dat kin ferminderjen inertial loads en ferbetterjen beweging effisjinsje, posisjonearring krektens en stabiliteit.
Keramyske fjouwerkante spegel Yn 'e litografysmasine is de bewegingssyngronisaasje tusken de wafer chuck en it maskerpoadium krúsjaal, wat direkt ynfloed hat op de litografyske krektens en opbringst. De fjouwerkante reflektor is in kaaibestân fan it mjittingsysteem foar feedbackmjitting foar wafer chuck-scanning, en syn materiaaleasken binne lichtgewicht en strang. Hoewol silisiumkarbidkeramyk ideale lichtgewicht eigenskippen hat, is it produsearjen fan sokke komponinten útdaagjend. Op it stuit brûke liedende fabrikanten fan ynternasjonale yntegreare circuit-apparatuer foaral materialen lykas fused silika en cordierite. Lykwols, mei de foarútgong fan technology, Sineeske saakkundigen hawwe berikt de fabrikaazje fan grutte-size, kompleks-foarmige, tige lichtgewicht, folslein ynsletten silisium carbid keramyske fjouwerkante spegels en oare funksjonele optyske komponinten foar fotolithography masines. It fotomasker, ek wol de aperture neamd, stjoert ljocht troch it masker troch om in patroan te foarmjen op it fotosensitive materiaal. As EUV-ljocht it masker lykwols bestraalt, stjoert it waarmte út, wêrtroch't de temperatuer ferheget nei 600 oant 1000 graden Celsius, wat thermyske skea kin feroarsaakje. Dêrom wurdt normaal in laach SiC-film op it fotomasker dellein. In protte bûtenlânske bedriuwen, lykas ASML, biede no films mei in oerdracht fan mear dan 90% om skjinmeitsjen en ynspeksje te ferminderjen tidens it gebrûk fan it fotomasker en it ferbetterjen fan de effisjinsje en produktopbringst fan EUV-fotolitografysmasines.
Plasma etsenen Deposition Photomasks, ek bekend as crosshairs, hawwe de haadfunksje fan it trochjaan fan ljocht troch it masker en it foarmjen fan in patroan op it fotosensitive materiaal. As EUV (ekstreem ultraviolet) ljocht lykwols it fotomasker bestraalt, stjoert it waarmte út, wêrtroch de temperatuer opheft nei tusken 600 en 1000 graden Celsius, wat thermyske skea feroarsaakje kin. Dêrom wurdt normaal in laach silisiumcarbid (SiC) film op it fotomasker dellein om dit probleem te ferhelpen. Op it stuit binne in protte bûtenlânske bedriuwen, lykas ASML, begon om films te leverjen mei in transparânsje fan mear dan 90% om de needsaak foar skjinmeitsjen en ynspeksje te ferminderjen tidens it gebrûk fan it fotomasker, wêrtroch de effisjinsje en produktopbringst fan EUV-litografysmasines ferbetterje. . Plasma etsen enDeposition Focus Ringen oaren.wafeloerflak. Yn tsjinstelling, tinne film ôfsetting is fergelykber mei de omkearde kant fan etsen, mei help fan in deposition metoade te steapele isolearjende materialen tusken metalen lagen te foarmjen in tinne film. Om't beide prosessen plasmatechnology brûke, binne se gefoelich foar korrosive effekten op keamers en komponinten. Dêrom binne de komponinten yn 'e apparatuer ferplicht om goede plasmaresistinsje te hawwen, lege reaktiviteit foar fluor-etsgassen en lege konduktiviteit. Tradysjonele ets- en ôfsettingsapparatuerkomponinten, lykas fokusringen, wurde normaal makke fan materialen lykas silisium of kwarts. Mei de foarútgong fan yntegreare sirkwy-miniaturisaasje nimt de fraach en it belang fan etsprosessen yn 'e produksje fan yntegreare circuits lykwols ta. Op it mikroskopyske nivo fereasket sekuere silisiumwafer-etsen hege-enerzjyplasma om lytsere linebreedtes en kompleksere apparaatstruktueren te berikken. Dêrom is gemyske dampdeposysje (CVD) silisiumkarbid (SiC) stadichoan it foarkommende coatingmateriaal wurden foar ets- en ôfsettingsapparatuer mei syn treflike fysike en gemyske eigenskippen, hege suverens en uniformiteit. Op it stuit omfetsje CVD silisiumkarbidkomponinten yn etsapparatuer fokusringen, gasdouchekoppen, trays en râneringen. Yn deposition apparatuer, der binne keamer covers, keamer liners enSIC-coated grafyt substrates.
Troch syn lege reaktiviteit en konduktiviteit foar chloor- en fluoretsgassen,CVD silisiumkarbidis in ideaal materiaal wurden foar komponinten lykas fokusringen yn plasma-etsapparatuer.CVD silisiumkarbidkomponinten yn etsen apparatuer befetsje fokus ringen, gas shower heads, trays, edge ringen, ensfh Nim de fokus ringen as foarbyld, se binne wichtige komponinten pleatst bûten de wafel en yn direkte kontakt mei de wafel. Troch it tapassen fan spanning oan 'e ring, wurdt it plasma troch de ring rjochte op' e wafel, wat de uniformiteit fan it proses ferbetterje. Tradysjoneel wurde fokusringen makke fan silisium of kwarts. As miniaturisaasje fan yntegreare circuits lykwols foarútgong, bliuwt de fraach en it belang fan etsprosessen yn produksje fan yntegreare circuits tanimme. Plasma-etskrêft en enerzjyeasken bliuwe tanimme, benammen yn kapasityf keppele plasma (CCP) etsapparatuer, dy't hegere plasma-enerzjy fereasket. As resultaat nimt it gebrûk fan fokusringen makke fan silisiumkarbidmaterialen ta.
Post tiid: Oct-29-2024