SiC-coated grafytbasen wurde faak brûkt om ienkristalsubstraten te stypjen en te ferwaarmjen yn apparatuer foar metaal-organyske gemyske dampdeposysje (MOCVD). De termyske stabiliteit, termyske uniformiteit en oare prestaasjeparameters fan SiC-coated grafytbasis spylje in beslissende rol yn 'e kwaliteit fan groei fan epitaksiale materiaal, dus it is de kearn kaaibestân fan MOCVD-apparatuer.
Yn it proses fan wafelfabryk wurde epitaksiale lagen fierder oanlein op guon wafelsubstraten om de fabrikaazje fan apparaten te fasilitearjen. Typyske LED-ljocht-emittearjende apparaten moatte epitaksiale lagen fan GaAs op silisiumsubstraten tariede; De SiC epitaksiale laach wurdt groeid op de conductive SiC substraat foar de bou fan apparaten lykas SBD, MOSFET, ensfh, foar hege spanning, hege hjoeddeistige en oare macht applikaasjes; GaN epitaksiale laach is konstruearre op semi-isolearre SiC substraat om fierder te bouwen HEMT en oare apparaten foar RF applikaasjes lykas kommunikaasje. Dit proses is net te skieden fan CVD-apparatuer.
Yn 'e CVD-apparatuer kin it substraat net direkt op it metaal pleatst wurde of gewoan op in basis pleatst wurde foar epitaksiale ôfsetting, om't it giet om de gasstream (horizontaal, fertikaal), temperatuer, druk, fixaasje, fersmoarging fan fersmoarging en oare aspekten fan de ynfloed faktoaren. Dêrom is it nedich om te brûken in basis, en dan pleats it substraat op 'e skiif, en dan brûke CVD technology te epitaxial ôfsetting op it substraat, dat is de SiC coated grafyt basis (ek bekend as de lade).
SiC-coated grafytbasen wurde faak brûkt om ienkristalsubstraten te stypjen en te ferwaarmjen yn apparatuer foar metaal-organyske gemyske dampdeposysje (MOCVD). De termyske stabiliteit, termyske uniformiteit en oare prestaasjeparameters fan SiC-coated grafytbasis spylje in beslissende rol yn 'e kwaliteit fan groei fan epitaksiale materiaal, dus it is de kearn kaaibestân fan MOCVD-apparatuer.
Metal-organyske gemyske dampdeposysje (MOCVD) is de mainstreamtechnology foar de epitaksiale groei fan GaN-films yn blauwe LED. It hat de foardielen fan ienfâldige operaasje, kontrolearbere groei en hege suverens fan GaN films. As in wichtige komponint yn 'e reaksje keamer fan MOCVD apparatuer, de bearing basis brûkt foar GaN film epitaxial groei moat hawwe de foardielen fan hege temperatuer ferset, unifoarm termyske conductivity, goede gemyske stabiliteit, sterke termyske shock ferset, ensfh Graphite materiaal kin moetsje boppesteande betingsten.
As ien fan 'e kearnkomponinten fan MOCVD-apparatuer, is grafytbasis de drager en ferwaarmingslichem fan' e substraat, dy't de unifoarmens en suverens fan it filmmateriaal direkt bepaalt, sadat syn kwaliteit direkt ynfloed hat op 'e tarieding fan it epitaksiale blêd, en tagelyk tiid, mei de tanimming fan it oantal gebrûk en de feroaring fan arbeidsbetingsten, it is hiel maklik om te dragen, dy't hearre ta de verbruiksartikelen.
Hoewol grafyt hat poerbêste termyske konduktiviteit en stabiliteit, hat it in goede foardiel as basiskomponint fan MOCVD-apparatuer, mar yn it produksjeproses sil grafyt it poeder korrodearje fanwege it oerbliuwsel fan korrosive gassen en metallyske organyske stoffen, en de libbensdoer fan 'e grafytbasis sil gâns fermindere wurde. Tagelyk sil it fallende grafytpoeder fersmoarging oan 'e chip feroarsaakje.
It ûntstean fan coating technology kin soargje oerflak poeder fixation, ferbetterjen termyske conductivity, en equalize waarmte ferdieling, dat is wurden de wichtichste technology te lossen dit probleem. Graphite basis yn MOCVD apparatuer gebrûk omjouwing, grafyt basis oerflak coating moat foldwaan oan de folgjende skaaimerken:
(1) De grafytbasis kin folslein ynpakt wurde, en de tichtens is goed, oars is de grafytbasis maklik te korrodearjen yn it korrosive gas.
(2) De kombinaasjesterkte mei de grafytbasis is heech om te soargjen dat de coating net maklik is om te fallen nei ferskate hege temperatuer- en lege temperatuersyklusen.
(3) It hat goede gemyske stabiliteit te kommen coating falen yn hege temperatuer en corrosive sfear.
SiC hat de foardielen fan corrosie ferset, hege termyske conductivity, termyske shock ferset en hege gemyske stabiliteit, en kin wurkje goed yn GaN epitaxial sfear. Dêrnjonken ferskilt de termyske útwreidingskoëffisjint fan SiC heul lyts fan dy fan grafyt, sadat SiC it foarkommende materiaal is foar it oerflakcoating fan grafytbasis.
Op it stuit is de mienskiplike SiC benammen 3C, 4H en 6H-type, en de SiC-gebrûk fan ferskate kristaltypen binne oars. Bygelyks, 4H-SiC kin produsearje hege-power apparaten; 6H-SiC is de meast stabile en kin produsearje fotoelektryske apparaten; Fanwegen syn ferlykbere struktuer as GaN, kin 3C-SiC wurde brûkt om GaN epitaksiale laach te produsearjen en SiC-GaN RF-apparaten te meitsjen. 3C-SiC is ek algemien bekend as β-SiC, en in wichtich gebrûk fan β-SiC is as film en coating materiaal, dus β-SiC is op it stuit it wichtichste materiaal foar coating.
Post tiid: Aug-04-2023