Oars as S1C diskrete apparaten dy't hege spanning, hege krêft, hege frekwinsje en hege temperatuer skaaimerken folgje, is it ûndersyksdoel fan SiC yntegreare sirkwy benammen om hege temperatuer digitaal sirkwy te krijen foar yntelliginte macht ICs kontrôle circuit. As SiC yntegreare sirkwy foar ynterne elektryske fjild is tige leech, sadat de ynfloed fan 'e mikrotubules defekt sil sterk ôfnimme, dit is it earste stik monolithic SiC yntegrearre operasjonele fersterker chip waard ferifiearre, de eigentlike klear produkt en bepaald troch de opbringst is folle heger dan microtubules mankeminten, dêrom, basearre op SiC opbringst model en Si en CaAs materiaal is fansels oars. De chip is basearre op útputting NMOSFET technology. De wichtichste reden is dat de effektive dragermobiliteit fan omkearde kanaal SiC MOSFETs te leech is. Om de oerflakmobiliteit fan Sic te ferbetterjen, is it nedich om it thermyske oksidaasjeproses fan Sic te ferbetterjen en te optimalisearjen.
Purdue University hat in protte wurk dien oan SiC yntegreare circuits. Yn 1992, it fabryk waard mei súkses ûntwikkele basearre op reverse kanaal 6H-SIC NMOSFETs monolithic digitale yntegrearre circuit. De chip befettet en net poarte, of net poarte, op of poarte, binêre teller, en heale adder circuits en kin goed wurkje yn it temperatuerberik fan 25 ° C oant 300 ° C. Yn 1995 waard it earste SiC-fleantúch MESFET Ics makke mei vanadium-ynjeksje-isolaasjetechnology. Troch de hoemannichte ynjeksje fan vanadium krekt te kontrolearjen, kin in isolearjend SiC krije.
Yn digitale logyske circuits binne CMOS-sirkels oantrekliker dan NMOS-sirkels. Yn septimber 1996 waard de earste 6H-SIC CMOS digitale yntegreare sirkwy produsearre. It apparaat brûkt injected N-oarder en deposition okside laach, mar troch oare proses problemen, de chip PMOSFETs drompel voltage is te heech. Yn maart 1997 doe't it meitsjen fan de twadde generaasje SiC CMOS circuit. De technology fan ynjeksje fan P-trap en thermyske groeioksidelaach wurdt oannommen. De drompelspanning fan PMOSEFT's krigen troch prosesferbettering is sawat -4.5V. Alle circuits op 'e chip wurkje goed by keamertemperatuer oant 300 ° C en wurde oandreaun troch in inkele macht oanbod, dat kin wêze oeral fan 5 nei 15V.
Mei it ferbetterjen fan substraat wafer kwaliteit, mear funksjonele en hegere opbringst yntegrearre circuits wurde makke. As de SiC-materiaal- en prosesproblemen lykwols yn prinsipe oplost binne, sil de betrouberens fan apparaat en pakket de wichtichste faktor wurde dy't ynfloed hat op 'e prestaasjes fan hege-temperatuer SiC yntegreare circuits.
Post tiid: Aug-23-2022