Tidens it dampfase epitaksy (VPE) proses is de rol fan 'e sokkel om it substraat te stypjen en unifoarme ferwaarming te garandearjen tidens it groeiproses. Ferskillende soarten sokkels binne geskikt foar ferskate groeibetingsten en materiaalsystemen. De folgjende binne guon fan 'e meast brûkte sokkeltypen yn dampfazeepitaksy:
Barrel pedestal
Barrel sokkels wurde faak brûkt yn horizontale of tilted damp faze epitaksy systemen. Se kinne it substraat hâlde en it gas oer it substraat kinne streame, wat helpt om unifoarme epitaksiale groei te berikken.
Skiiffoarmige sokkel (fertikaal sokkel)
Skiiffoarmige sokkels binne geskikt foar fertikale dampfase-epitaxysystemen, wêrby't it substraat fertikaal pleatst wurdt. Dit ûntwerp helpt te ferminderjen it kontakt gebiet tusken it substraat en de susceptor, dêrmei ferminderjen waarmte ferlies en potinsjele fersmoarging.
Horizontale susceptor
Horizontale susceptors binne minder gewoan yn dampfase epitaksy, mar kinne brûkt wurde yn guon spesifike groeisystemen om epitaksiale groei yn in horizontale rjochting te tastean.
Monolityske epitaksiale reaksje susceptor
De monolithyske epitaksiale reaksje susceptor is ûntworpen foar ien substraat, dy't krekter temperatuerkontrôle en bettere thermyske isolaasje kin leverje, geskikt foar de groei fan epitaksiale lagen fan hege kwaliteit.
Wolkom op ús webside foar produktynformaasje en oerlis.
Us webside: https://www.vet-china.com/
Post tiid: Jul-30-2024