Sputterjende doelenwurde benammen brûkt yn de elektroanika en ynformaasje yndustry, lykas yntegreare circuits, ynformaasje opslach, floeibere kristal byldskermen, laser oantinkens, elektroanyske kontrôle apparaten, ensfh Se kinne ek brûkt wurde op it mêd fan glês coating, likegoed as yn wear-resistant materialen, hege temperatuer corrosie ferset, hege-ein dekorative produkten en oare yndustry.
Sputtering is ien fan 'e wichtichste techniken foar it tarieden fan tinne filmmaterialen.It brûkt ioanen generearre troch ion boarnen te fersnellen en aggregearje yn in fakuüm te foarmjen hege-snelheid enerzjy ion balken, bombardearje it fêste oerflak, en útwikseling kinetyske enerzjy tusken ioanen en fêste oerflak atomen. De atomen op it fêste oerflak ferlitte de fêste en wurde ôfset op it oerflak fan it substraat. De bombardearre fêste stof is it grûnstof foar it dellizzen fan tinne films troch sputterjen, wat sputterdoel neamd wurdt. Ferskate soarten sputtered tinne filmmaterialen binne in protte brûkt yn yntegreare semiconductor circuits, opnamemedia, flat-panel displays en workpiece oerflakcoatings.
Under alle applikaasje yndustry hat de semiconductor yndustry de meast strange kwaliteit easken foar doel sputtering films. High-suverheid metalen sputtering doelen wurde benammen brûkt yn wafer manufacturing en avansearre ferpakking prosessen. Troch chipfabryk as foarbyld te nimmen, kinne wy sjogge dat fan in silisiumwafel nei in chip, it moat gean troch 7 grutte produksjeprosessen, nammentlik diffusion (thermysk proses), fotolitografy (fotolitografy), ets (etsje), Ionen-ymplantaasje (IonImplant), tinne filmgroei (dielektryske ôfsetting), gemysk meganysk polearjen (CMP), metalisaasje (metalisaasje) De prosessen korrespondearje ien foar ien. It sputterdoel wurdt brûkt yn it proses fan "metallisaasje". It doel wurdt bombardearre mei hege-enerzjydieltsjes troch tinne film ôfsetting apparatuer en dan wurdt in metalen laach mei spesifike funksjes foarme op de silisium wafel, lykas conductive laach, barriêre laach. Wachtsje. Om't de prosessen fan 'e heule semiconductors farieare binne, binne guon ynsidintele situaasjes nedich om te kontrolearjen dat it systeem goed bestie, dus wy easkje wat soarten dummymaterialen yn bepaalde fazen fan produksje om de effekten te befêstigjen.
Post tiid: Jan-17-2022